| 中文摘要 | 第1-11页 |
| Abstract | 第11-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-33页 |
| ·概述 | 第15-16页 |
| ·ZnO 薄膜的性质 | 第16-20页 |
| ·结构性质 | 第16-17页 |
| ·电学和光学性质 | 第17-19页 |
| ·其它特性和应用 | 第19-20页 |
| ·薄膜的表面形貌统计特性描述及ZnO 薄膜的应力研究 | 第20-22页 |
| ·薄膜的表面形貌统计特性描述 | 第20-22页 |
| ·ZnO 薄膜的应力研究 | 第22页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第22-27页 |
| ·化学气相沉积法（CVD） | 第22-23页 |
| ·物理气相沉积法（PVD） | 第23-24页 |
| ·分子束外延法（MBE） | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法（sol-gel） | 第25-26页 |
| ·喷雾热分解法 | 第26-27页 |
| ·ZnO 薄膜的研究现状 | 第27-29页 |
| ·选题动机 | 第29-33页 |
| 第二章 薄膜生长设备和测试分析方法 | 第33-47页 |
| ·射频磁控溅射法 | 第33-36页 |
| ·溅射原理 | 第33页 |
| ·溅射的特点 | 第33-34页 |
| ·磁控溅射系统 | 第34-36页 |
| ·脉冲激光沉积法（PLD 方法） | 第36-40页 |
| ·脉冲激光沉积法基本原理 | 第36-38页 |
| ·脉冲激光沉积技术的特点 | 第38页 |
| ·PLD 薄膜生长实验系统 | 第38-40页 |
| ·测试分析方法 | 第40-47页 |
| ·薄膜表面形貌结构测试 | 第40-44页 |
| ·电学和光学性质测量 | 第44-47页 |
| 第三章 脉冲激光沉积制备的ZnO：Ga 表面形貌及光电性质研究 | 第47-65页 |
| ·GZO 薄膜的制备 | 第47-48页 |
| ·靶材和衬底清洗 | 第47页 |
| ·激光光路系统调节 | 第47-48页 |
| ·薄膜制备 | 第48页 |
| ·沉积时间对GZO 薄膜形貌特性的影响分析 | 第48-57页 |
| ·沉积时间对GZO 薄膜结构与光电特性影响 | 第57-61页 |
| ·GZO 薄膜的结构特性 | 第58-59页 |
| ·GZO 薄膜的电学特性和光学透过特性 | 第59-61页 |
| ·GZO 薄膜的表面粗糙度、薄膜厚度与薄膜光电特性的关系 | 第61-65页 |
| 第四章 柔性衬底ZnO 薄膜应力以及光学特性研究 | 第65-89页 |
| ·衬底温度对射频磁控溅射聚四氟乙烯衬底上生长的ZnO 薄膜特性的影响 | 第65-72页 |
| ·薄膜的制备及测试 | 第65-66页 |
| ·衬底温度对ZnO 薄膜结构和形貌的影响 | 第66-70页 |
| ·衬底温度对ZnO 薄膜发光特性的影响 | 第70-72页 |
| ·压强对Teflon 衬底上生长的ZnO 薄膜应力以及发光特性的影响 | 第72-78页 |
| ·样品的制备和测试 | 第72页 |
| ·不同压强对ZnO 薄膜结构、应力和形貌特性的影响 | 第72-78页 |
| ·缓冲层对Teflon 衬底生长的ZnO 薄膜的特性影响 | 第78-83页 |
| ·薄膜的制备和测量 | 第78页 |
| ·缓冲层对ZnO 薄膜的结构、应力和形貌特性的影响 | 第78-82页 |
| ·缓冲层对ZnO 薄膜光学特性的影响 | 第82-83页 |
| ·溅射功率和溅射时间对Teflon 衬底上制备的ZnO 薄膜性能的影响 | 第83-89页 |
| ·薄膜的制备及测试 | 第83页 |
| ·溅射功率和时间对Teflon 衬底上生长的ZnO 薄膜结构及形貌特性影响 | 第83-89页 |
| 第五章 衬底与生长温度对ZnO：Co 薄膜结构、形貌和应力的影响 | 第89-111页 |
| ·ZnO 薄膜的制备和测量 | 第89-90页 |
| ·衬底温度对ZnO:Co 薄膜结构及应力特性的影响 | 第90-98页 |
| ·温度对蓝宝石衬底ZnO:Co 薄膜结构及应力特性的影响 | 第90-92页 |
| ·温度对硅衬底ZnO:Co 薄膜结构及应力特性的影响 | 第92-95页 |
| ·温度对玻璃衬底上生长的ZnO:Co 薄膜结构及应力特性的影响 | 第95-97页 |
| ·衬底材料对ZnO:Co 薄膜结构及应力特性的影响 | 第97-98页 |
| ·衬底及生长温度对ZnO:Co 薄膜表面形貌特性的影响 | 第98-111页 |
| ·温度对蓝宝石衬底ZnO:Co 薄膜表面形貌特性的影响 | 第99-102页 |
| ·温度对玻璃衬底ZnO:Co 薄膜表面形貌特性的影响 | 第102-104页 |
| ·温度对硅衬底上ZnO:Co 薄膜表面形貌特性的影响 | 第104-107页 |
| ·衬底材料对ZnO:Co 薄膜表面形貌特性的影响 | 第107-111页 |
| 结论 | 第111-115页 |
| 参考文献 | 第115-123页 |
| 攻读博士学位期间完成的论文 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
