泡生法蓝宝石60kg级生长炉可控温场研究
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 蓝宝石晶体的基本性质 | 第13-16页 |
| 1.2.1 热学性能 | 第14-15页 |
| 1.2.2 电学性能 | 第15页 |
| 1.2.3 光学性能 | 第15-16页 |
| 1.2.4 力学机械性能 | 第16页 |
| 1.3 蓝宝石工业制备方法 | 第16-22页 |
| 1.3.1 提拉法 | 第16-17页 |
| 1.3.2 导模法 | 第17-18页 |
| 1.3.3 温度梯度法 | 第18页 |
| 1.3.4 热交换法 | 第18-19页 |
| 1.3.5 坩埚下降法 | 第19页 |
| 1.3.6 泡生法 | 第19-21页 |
| 1.3.7 冷心放肩微量提拉法 | 第21-22页 |
| 1.4 蓝宝石晶体行业概述 | 第22-23页 |
| 1.4.1 国内外现状 | 第22-23页 |
| 1.5 科研现状 | 第23-24页 |
| 1.6 主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 泡生法单晶炉设备及工艺流程 | 第25-36页 |
| 2.1 晶体生长设备简介 | 第25-29页 |
| 2.1.1 热场 | 第25-26页 |
| 2.1.2 控制柜 | 第26-27页 |
| 2.1.3 电源柜 | 第27-28页 |
| 2.1.4 真空系统 | 第28页 |
| 2.1.5 水冷系统 | 第28页 |
| 2.1.6 提拉称重系统 | 第28-29页 |
| 2.2 工艺流程 | 第29-34页 |
| 2.2.1 装料及设备准备工作 | 第29-30页 |
| 2.2.2 化料 | 第30-31页 |
| 2.2.3 引晶 | 第31-32页 |
| 2.2.4 等径生长 | 第32-33页 |
| 2.2.5 退火 | 第33-34页 |
| 2.2.6 充氩气取晶体 | 第34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 长晶过程物理数学模型分析 | 第36-46页 |
| 3.1 结晶驱动 | 第36页 |
| 3.2 成核阐述 | 第36-40页 |
| 3.2.1 均匀成核 | 第36-37页 |
| 3.2.2 非均匀成核 | 第37页 |
| 3.2.3 均匀成核速率 | 第37-38页 |
| 3.2.4 晶体生长过程中的成分过冷与热过冷 | 第38-39页 |
| 3.2.5 成分过冷的形成条件 | 第39-40页 |
| 3.3 传热模型概述 | 第40-44页 |
| 3.3.1 FLUENT辐射模型 | 第41-43页 |
| 3.3.2 FLUENT熔化凝固模型 | 第43-44页 |
| 3.4 泡生法生长过程控制方程 | 第44-45页 |
| 3.4.1 边界条件 | 第45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 生长炉建模及ANSYS/FLUENT仿真 | 第46-57页 |
| 4.1 有限元仿真 | 第46-47页 |
| 4.1.1 计算程序流程图 | 第46-47页 |
| 4.2 参数说明及建模 | 第47-48页 |
| 4.2.1 模型建立 | 第47-48页 |
| 4.2.2 网格划分 | 第48页 |
| 4.3 ANSYS/FLUENT仿真过程说明 | 第48-52页 |
| 4.3.1 基本假设条件 | 第48-49页 |
| 4.3.2 FLUENT仿真过程 | 第49-52页 |
| 4.4 模拟结果分析 | 第52-55页 |
| 4.4.1 引晶过程 | 第52-53页 |
| 4.4.2 等径过程 | 第53-55页 |
| 4.5 晶体生长过程中的热传递 | 第55页 |
| 4.6 温场可控性分析 | 第55-56页 |
| 4.6.1 引晶过程 | 第55-56页 |
| 4.6.2 等径过程 | 第56页 |
| 4.7 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 等径过程自适应模糊PID控制器设计及仿真 | 第57-65页 |
| 5.1 引言 | 第57-58页 |
| 5.1.1 自适应模糊PID控制器 | 第57-58页 |
| 5.2 等径过程特性分析 | 第58-59页 |
| 5.2.1 等径过程被控对象 | 第58-59页 |
| 5.3 基于上称重的自适应模糊PID控制器设计 | 第59-65页 |
| 5.3.1 仿真过程及结果 | 第59-62页 |
| 5.3.2 对比试验 | 第62-65页 |
| 第6章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读学位期间研究成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
