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泡生法蓝宝石60kg级生长炉可控温场研究

摘要第6-7页
ABSTRACT第7-8页
第1章 绪论第12-25页
    1.1 引言第12-13页
    1.2 蓝宝石晶体的基本性质第13-16页
        1.2.1 热学性能第14-15页
        1.2.2 电学性能第15页
        1.2.3 光学性能第15-16页
        1.2.4 力学机械性能第16页
    1.3 蓝宝石工业制备方法第16-22页
        1.3.1 提拉法第16-17页
        1.3.2 导模法第17-18页
        1.3.3 温度梯度法第18页
        1.3.4 热交换法第18-19页
        1.3.5 坩埚下降法第19页
        1.3.6 泡生法第19-21页
        1.3.7 冷心放肩微量提拉法第21-22页
    1.4 蓝宝石晶体行业概述第22-23页
        1.4.1 国内外现状第22-23页
    1.5 科研现状第23-24页
    1.6 主要研究内容第24-25页
第2章 泡生法单晶炉设备及工艺流程第25-36页
    2.1 晶体生长设备简介第25-29页
        2.1.1 热场第25-26页
        2.1.2 控制柜第26-27页
        2.1.3 电源柜第27-28页
        2.1.4 真空系统第28页
        2.1.5 水冷系统第28页
        2.1.6 提拉称重系统第28-29页
    2.2 工艺流程第29-34页
        2.2.1 装料及设备准备工作第29-30页
        2.2.2 化料第30-31页
        2.2.3 引晶第31-32页
        2.2.4 等径生长第32-33页
        2.2.5 退火第33-34页
        2.2.6 充氩气取晶体第34页
    2.3 本章小结第34-36页
第3章 长晶过程物理数学模型分析第36-46页
    3.1 结晶驱动第36页
    3.2 成核阐述第36-40页
        3.2.1 均匀成核第36-37页
        3.2.2 非均匀成核第37页
        3.2.3 均匀成核速率第37-38页
        3.2.4 晶体生长过程中的成分过冷与热过冷第38-39页
        3.2.5 成分过冷的形成条件第39-40页
    3.3 传热模型概述第40-44页
        3.3.1 FLUENT辐射模型第41-43页
        3.3.2 FLUENT熔化凝固模型第43-44页
    3.4 泡生法生长过程控制方程第44-45页
        3.4.1 边界条件第45页
    3.5 本章小结第45-46页
第4章 生长炉建模及ANSYS/FLUENT仿真第46-57页
    4.1 有限元仿真第46-47页
        4.1.1 计算程序流程图第46-47页
    4.2 参数说明及建模第47-48页
        4.2.1 模型建立第47-48页
        4.2.2 网格划分第48页
    4.3 ANSYS/FLUENT仿真过程说明第48-52页
        4.3.1 基本假设条件第48-49页
        4.3.2 FLUENT仿真过程第49-52页
    4.4 模拟结果分析第52-55页
        4.4.1 引晶过程第52-53页
        4.4.2 等径过程第53-55页
    4.5 晶体生长过程中的热传递第55页
    4.6 温场可控性分析第55-56页
        4.6.1 引晶过程第55-56页
        4.6.2 等径过程第56页
    4.7 本章小结第56-57页
第5章 等径过程自适应模糊PID控制器设计及仿真第57-65页
    5.1 引言第57-58页
        5.1.1 自适应模糊PID控制器第57-58页
    5.2 等径过程特性分析第58-59页
        5.2.1 等径过程被控对象第58-59页
    5.3 基于上称重的自适应模糊PID控制器设计第59-65页
        5.3.1 仿真过程及结果第59-62页
        5.3.2 对比试验第62-65页
第6章 总结与展望第65-67页
    6.1 总结第65-66页
    6.2 展望第66-67页
参考文献第67-71页
攻读学位期间研究成果第71-72页
致谢第72页

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