| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 引言 | 第11-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-14页 |
| 1.2 本论文的主要研究内容及意义 | 第14-18页 |
| 2 原子层沉积及高深宽比模板制备工艺和表征方法 | 第18-32页 |
| 2.1 原子层沉积表面化学及工艺参数 | 第18-23页 |
| 2.2 原子层沉积薄膜的生长、成分及表面形貌等表征方法 | 第23-24页 |
| 2.3 高深宽比模板的制备及表征 | 第24-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 原子层沉积氧化钴薄膜及多孔结构包覆性能研究 | 第32-44页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 原子层沉积超薄氧化钴薄膜 | 第33-38页 |
| 3.3 氧化钴薄膜在纳米多孔金基底中的包覆性能研究 | 第38-40页 |
| 3.4 氧化钴薄膜生长机理讨论 | 第40-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 原子层沉积制备氧化钴/氧化钛复合材料及光解水性能研究 | 第44-60页 |
| 4.1 引言 | 第44-45页 |
| 4.2 氧化钴/氧化钛纳米管复合材料的制备工艺及表征方法 | 第45-47页 |
| 4.3 氧化钴/氧化钛纳米管复合材料的形貌、成分及界面结构表征 | 第47-52页 |
| 4.4 氧化钴/氧化钛纳米管复合材料的光解水性能研究 | 第52-54页 |
| 4.5 氧化钴/氧化钛纳米管复合材料的能带结构测试及光解水机理研究 | 第54-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 原子层沉积镧钴氧薄膜 | 第60-67页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 原子层沉积单元氧化镧薄膜 | 第60-64页 |
| 5.3 原子层沉积二元金属氧化物镧钴氧 | 第64-65页 |
| 5.4 本章总结 | 第65-67页 |
| 总结和展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-83页 |
| 硕士期间完成论文 | 第83页 |
