| 摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-20页 |
| 1.2.1 微构件力学特性尺寸效应的实验研究 | 第11-13页 |
| 1.2.2 微构件力学特性尺寸效应的理论研究 | 第13-18页 |
| 1.2.3 静电驱动微构件力学特性尺寸效应 | 第18-19页 |
| 1.2.4 基于修正偶应力理论静电驱动微构件力学特性尺寸效应 | 第19-20页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 应变梯度理论及数值求解方法 | 第22-30页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 应变梯度理论简介 | 第22-25页 |
| 2.2.1 偶应力理论 | 第22-23页 |
| 2.2.2 修正偶应力理论 | 第23-24页 |
| 2.2.3 应变梯度弹性理论 | 第24-25页 |
| 2.3 广义微分求积法简介 | 第25-28页 |
| 2.3.1 广义微分求积法的发展 | 第25-26页 |
| 2.3.2 广义微分求积法的理论方程 | 第26-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 静电驱动固支梁Pull-in特性尺寸效应研究 | 第30-42页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 静电驱动两端固支梁Pull-in特性理论模型的建立 | 第30-34页 |
| 3.3 静电驱动固支梁Pull-in特性尺寸效应 | 第34-41页 |
| 3.3.1 固支梁厚度h对Pull-in特性的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.2 固支梁初始间隙g对Pull-in特性的影响 | 第37-41页 |
| 3.4 本章小节 | 第41-42页 |
| 第4章 静电驱动悬臂梁Pull-in特性尺寸效应研究 | 第42-52页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 静电驱动微悬臂梁Pull-in特性模型的建立 | 第42-43页 |
| 4.3 静电驱动微悬臂梁Pull-in特性尺寸效应 | 第43-49页 |
| 4.3.1 悬臂梁厚度h对Pull-in特性的影响 | 第44-45页 |
| 4.3.2 悬臂梁初始间隙g对Pull-in特性的影响 | 第45-49页 |
| 4.4 本章小节 | 第49-52页 |
| 第5章 静电驱动微梁系统可视化平台设计 | 第52-60页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 静电驱动微梁可视化界面的初步设计 | 第52-57页 |
| 5.2.1 静电驱动微梁可视化系统的主要模块 | 第52-53页 |
| 5.2.2 静电驱动微梁系统可视化平台设计步骤 | 第53-57页 |
| 5.3 静电驱动微梁Pull-in特性尺寸效应可视化平台 | 第57-59页 |
| 5.4 本章小节 | 第59-60页 |
| 第6章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 全文总结 | 第60-61页 |
| 6.2 主要创新点 | 第61页 |
| 6.3 研究展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 在学期间主要科研成果 | 第72-74页 |
| 发表学术论文 | 第72-74页 |
| 附录A 静电驱动微梁Pull-in特性实现程序 | 第74-76页 |
| 附录B 静电驱动微梁Pull-in特性可视化平台实现程序 | 第76-85页 |
