基于SOI微环谐振腔的可调谐外腔半导体激光器研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1. 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 外腔半导体激光器简介 | 第9-12页 |
| 1.3 基于微环的半导体激光器简介 | 第12-16页 |
| 1.4 本论文的创新点和章节安排 | 第16-18页 |
| 1.4.1 本论文的创新点 | 第16页 |
| 1.4.2 本论文的章节安排 | 第16-18页 |
| 2. 微环谐振腔 | 第18-42页 |
| 2.1 微环谐振腔基本原理 | 第18-21页 |
| 2.1.1 谐振方程和谐振环半径 | 第18-19页 |
| 2.1.2 色散方程 | 第19-20页 |
| 2.1.3 自由光谱范围 | 第20-21页 |
| 2.1.4 精细度和品质因子 | 第21页 |
| 2.2 环形谐振腔的理论分析 | 第21-26页 |
| 2.2.1 耦合区的振幅耦合方程 | 第22-23页 |
| 2.2.2 单环谐振腔的传递函数 | 第23-26页 |
| 2.3 热光效应和热传导理论 | 第26-30页 |
| 2.3.1 热光效应 | 第26-27页 |
| 2.3.2 热传导理论 | 第27-30页 |
| 2.4 热调谐硅基双环谐振腔设计 | 第30-41页 |
| 2.4.1 基于SOI的深刻蚀波导的模场分布 | 第31-34页 |
| 2.4.2 波导的热光效应仿真 | 第34-37页 |
| 2.4.3 热调谐级联双环谐振腔设计和仿真 | 第37-41页 |
| 2.5 小结 | 第41-42页 |
| 3. 热调谐级联双环谐振腔的制作和测试 | 第42-60页 |
| 3.1 热调谐级联双环谐振腔的制作工艺 | 第42-56页 |
| 3.1.1 SOI平台的级联双环谐振腔的工艺 | 第45-52页 |
| 3.1.2 NiCr合金加热器的工艺 | 第52-56页 |
| 3.2 热调谐级联双环谐振腔的测试 | 第56-59页 |
| 3.2.1 测试平台的搭建 | 第56-57页 |
| 3.2.2 测试结果 | 第57-59页 |
| 3.3 小结 | 第59-60页 |
| 4. 准直光路设计和外腔激光器提出 | 第60-66页 |
| 4.1 自聚焦透镜及其成像原理 | 第60-63页 |
| 4.2 自聚焦透镜仿真 | 第63-64页 |
| 4.3 新型外腔激光器 | 第64-65页 |
| 4.4 小结 | 第65-66页 |
| 5. 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 总结 | 第66-67页 |
| 5.2 展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 个人简介 | 第74页 |
