亚表面损伤测量技术中全内反射粗定位系统的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第7-8页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第7页 |
| 1.1.2 课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外发展现状及趋势 | 第8-13页 |
| 1.2.1 亚表面损伤产生机理 | 第8-9页 |
| 1.2.2 测量亚表面损伤的方法比较 | 第9-13页 |
| 1.3 本文主要的研究内容 | 第13-15页 |
| 2 基于全内反射照明的亚表面损伤测量原理 | 第15-23页 |
| 2.1 基于全内反射的测量原理 | 第15页 |
| 2.2 全内反射照明的分析 | 第15-22页 |
| 2.2.1 入射光的偏振态对光强的影响 | 第16-18页 |
| 2.2.2 入射角度对光强的影响 | 第18-20页 |
| 2.2.3 细裂纹模型理论推导 | 第20-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 全内反射粗定位系统中照明系统的设计 | 第23-34页 |
| 3.1 球面镜的设计 | 第23-32页 |
| 3.1.1 理论推导及球面镜照明系统的模拟分析 | 第24-26页 |
| 3.1.2 球面镜照明系统的模拟仿真 | 第26-28页 |
| 3.1.3 球面镜照明系统变量分析 | 第28-32页 |
| 3.2 直角棱镜的设计 | 第32-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 诺马斯基显微系统的设计 | 第34-54页 |
| 4.1 诺马斯基显微系统的分析 | 第34-38页 |
| 4.1.1 偏振光干涉原理 | 第34-35页 |
| 4.1.2 诺马斯基显微系统光路分析 | 第35-36页 |
| 4.1.3 诺马斯基显微系统的光学原理 | 第36-38页 |
| 4.2 渥拉斯顿棱镜的分析 | 第38-42页 |
| 4.2.1 渥拉斯顿棱镜基本原理 | 第38-39页 |
| 4.2.2 渥拉斯顿棱镜的设计 | 第39-42页 |
| 4.3 诺马斯基棱镜的分析 | 第42-53页 |
| 4.3.1 诺马斯基棱镜中传播光路的分析 | 第42-45页 |
| 4.3.2 光轴与相干平面关系的分析 | 第45-47页 |
| 4.3.3 诺马斯基各参量关系的分析 | 第47-51页 |
| 4.3.4 诺马斯基棱镜参数设定 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 实验装调与观察 | 第54-62页 |
| 5.1 实验系统的构建 | 第54-55页 |
| 5.2 样品的制备 | 第55-58页 |
| 5.3 三维扫描系统 | 第58-59页 |
| 5.4 实验现象 | 第59-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 | 第68页 |
