| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 太阳能电池简介 | 第10-12页 |
| 1.1.1 太阳能电池工作原理 | 第10-11页 |
| 1.1.2 太阳能电池种类 | 第11-12页 |
| 1.1.3 太阳能电池应用 | 第12页 |
| 1.2 硅片切割加工技术 | 第12-15页 |
| 1.2.1 外圆切割技术 | 第12页 |
| 1.2.2 内圆切割技术 | 第12-13页 |
| 1.2.3 多线切割技术 | 第13-14页 |
| 1.2.4 电火花切割技术 | 第14-15页 |
| 1.3 多线切割设备介绍 | 第15页 |
| 1.4 太阳能电池制绒技术 | 第15-16页 |
| 1.4.1 湿法刻蚀 | 第16页 |
| 1.4.2 机械刻蚀 | 第16页 |
| 1.4.3 等离子刻蚀 | 第16页 |
| 1.5 本文研究内容与意义 | 第16-17页 |
| 本章小结 | 第17-18页 |
| 2 实验测试设备 | 第18-25页 |
| 2.1 MS203多功能晶片检测系统 | 第18-19页 |
| 2.2 硅片自动分选机 | 第19-20页 |
| 2.3 扫描电子显微镜 | 第20-22页 |
| 2.4 反射率测量系统 | 第22-23页 |
| 2.5 载流子寿命测试系统 | 第23-24页 |
| 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 砂浆切设备改造及生产工艺 | 第25-38页 |
| 3.1 金刚石多线切割设备工作原理 | 第25-26页 |
| 3.2 设备改造及生产工艺实验方法 | 第26-28页 |
| 3.2.1 设备改造 | 第26-28页 |
| 3.2.2 生产工艺实验方法 | 第28页 |
| 3.3 生产工艺对比分析 | 第28-33页 |
| 3.3.1 不同张力与线速度情况下硅片质量分析 | 第28-30页 |
| 3.3.2 生产工艺参数优化 | 第30-31页 |
| 3.3.3 PV800H与PV500设备生产的硅片质量对比分析 | 第31-33页 |
| 3.4 金刚切与砂浆切硅片表征分析 | 第33-36页 |
| 3.4.1 表面损伤层对比分析 | 第33-35页 |
| 3.4.2 硅片反射率对比分析 | 第35-36页 |
| 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 金刚切硅片制绒工艺及电池片转换效率分析 | 第38-45页 |
| 4.1 实验方法 | 第38页 |
| 4.2 金刚切硅片制绒工艺研究 | 第38-41页 |
| 4.2.1 相同工艺条件下制绒金刚切硅片与砂浆切硅片对比 | 第38-39页 |
| 4.2.2 金刚切硅片制绒工艺对比 | 第39-41页 |
| 4.2.3 金刚切与砂浆切硅片制绒后形貌对比 | 第41页 |
| 4.3 金刚切与砂浆切硅片少子寿命、电性能及转换效率对比 | 第41-43页 |
| 4.3.1 少子寿命对比 | 第41-42页 |
| 4.3.2 电性能及转换效率对比 | 第42-43页 |
| 本章小结 | 第43-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
