多波长表面干涉测量中的形貌拼接算法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第8页 |
| 1.3 图像拼接技术的国内外发展现状 | 第8-13页 |
| 1.3.1 形貌数据的获取 | 第9-11页 |
| 1.3.2 形貌图像拼接方法 | 第11-13页 |
| 1.4 课题研究的内容和章节安排 | 第13-14页 |
| 第2章 多波长干涉形貌测量系统 | 第14-22页 |
| 2.1 多波长轮换与相移扫描相结合的干涉测量原理 | 第14-17页 |
| 2.1.1 相移干涉测量基本原理 | 第14-16页 |
| 2.1.2 双波长相移干涉测量原理 | 第16-17页 |
| 2.1.3 多波长相移干涉测量原理 | 第17页 |
| 2.2 多波长相移干涉形貌测量系统 | 第17-19页 |
| 2.3 二维平移台控制系统 | 第19-21页 |
| 2.3.1 二维电控平移台 | 第20页 |
| 2.3.2 步进电机 | 第20页 |
| 2.3.3 光栅尺 | 第20-21页 |
| 2.3.4 运动控制卡 | 第21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 表面三维形貌图像的拼接方法 | 第22-37页 |
| 3.1 形貌图像拼接原理 | 第22-23页 |
| 3.2 形貌图像的预处理 | 第23-28页 |
| 3.2.1 噪声来源及分析 | 第23-24页 |
| 3.2.2 去噪 | 第24-28页 |
| 3.3 形貌图像的配准 | 第28-34页 |
| 3.3.1 模板匹配算法 | 第29-30页 |
| 3.3.2 相位相关法 | 第30-31页 |
| 3.3.3 ICP配准算法 | 第31-32页 |
| 3.3.4 本文的匹配方法 | 第32-34页 |
| 3.4 形貌图像的融合 | 第34-36页 |
| 3.4.1 加权平均融合 | 第34页 |
| 3.4.2 渐入渐出法 | 第34-35页 |
| 3.4.3 小波融合法 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 实验结果及其分析 | 第37-43页 |
| 4.1 方波多刻线样板实验 | 第37-39页 |
| 4.2 重合区域的选取实验 | 第39-40页 |
| 4.3 正弦波多刻线样板 | 第40-41页 |
| 4.4 实验结果分析总结 | 第41页 |
| 4.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第5章 总结与展望 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 致谢 | 第48页 |
