微流控阵列光开关中微流体驱动方法的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·光开关的主要应用 | 第10-11页 |
| ·光开关的研究现状与发展 | 第11-18页 |
| ·MEMS 光开关 | 第12-14页 |
| ·电光开关 | 第14-15页 |
| ·热光开关 | 第15-16页 |
| ·液晶光开关 | 第16-17页 |
| ·其他电控光开关 | 第17-18页 |
| ·论文的研究重点以及创新点 | 第18-20页 |
| 第二章 微流控技术与微流体驱动方法 | 第20-31页 |
| ·微流控技术 | 第20-21页 |
| ·微流体的性质与流体流动的数学模型 | 第21-25页 |
| ·宏观流体基本理论 | 第21页 |
| ·微流体的性质 | 第21-23页 |
| ·流体流动的数学模型 | 第23-25页 |
| ·微流控技术中微流体的驱动方式 | 第25-29页 |
| ·静电驱动 | 第25-26页 |
| ·压电驱动 | 第26-27页 |
| ·热气驱动与控制 | 第27页 |
| ·离心力驱动与控制 | 第27-28页 |
| ·表面张力驱动与控制 | 第28页 |
| ·光压驱动与控制 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 微流控光开关的设计与驱动单元的研究 | 第31-53页 |
| ·微流控光开关的理论基础 | 第31-35页 |
| ·光开关设计的工作原理 | 第31-33页 |
| ·光开关的一维结构 | 第33-34页 |
| ·光开关的二维结构 | 第34-35页 |
| ·光开关的阵列结构 | 第35页 |
| ·静电驱动微流控光开关的设计 | 第35-38页 |
| ·静电驱动微流控光开关的工作原理 | 第36-37页 |
| ·静电驱动微流控光开关的制作方法 | 第37-38页 |
| ·静电驱动方法的研究 | 第38-44页 |
| ·ITO 玻璃作为导电底板 | 第38页 |
| ·PDMS 薄膜的研制与实验 | 第38-41页 |
| ·导电模块的制作 | 第41-42页 |
| ·静电驱动中储液小槽上下面受力分析 | 第42-44页 |
| ·压电驱动微流控光开关的设计 | 第44-46页 |
| ·压电驱动方法的研究 | 第46-51页 |
| ·压电陶瓷驱动薄膜位移测试 | 第46-48页 |
| ·利用软光刻方法制作微流道 | 第48-51页 |
| ·压电陶瓷驱动液体的验证性实验 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 光开关的优化设计 | 第53-61页 |
| ·自聚焦棒作为波导的耦合损耗研究 | 第53-55页 |
| ·压电驱动方式微流控光开关模具的设计 | 第55-58页 |
| ·热压法制作模具 | 第55-56页 |
| ·模具的设计 | 第56-58页 |
| ·微流控光开关部分制作材料的分析 | 第58-61页 |
| ·微流控光开关中液体的选择 | 第58-59页 |
| ·绝缘层弹性薄膜的选择 | 第59-61页 |
| 第五章 结束语 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 研究生期间发表论文情况 | 第68页 |
