| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 微纳机电系统概述 | 第10-12页 |
| 1.1.1 微机电系统简介 | 第10-11页 |
| 1.1.2 纳机电系统的研究内容 | 第11-12页 |
| 1.2 论文研究的背景及研究意义 | 第12-14页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 论文的主要结构和研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 硅纳米梁谐振频率理论模型 | 第18-28页 |
| 2.1 梁振动基础理论 | 第18-24页 |
| 2.1.1 梁振动的连续体理论模型 | 第18-21页 |
| 2.1.2 梁振动的半连续体模型 | 第21-24页 |
| 2.2 梁振动的分子动力学研究方法 | 第24-27页 |
| 2.2.1 分子动力学理论基础 | 第24-25页 |
| 2.2.2 梁振动的分子动力学模拟 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于Keating势模型的<111>与<112>晶向硅纳米梁谐振频率研究 | 第28-46页 |
| 3.1 硅纳米梁 | 第28-30页 |
| 3.2 Keating势能模型简介 | 第30-31页 |
| 3.2.1 Keating形变势能模型 | 第30页 |
| 3.2.2 Keating非谐振形变势能模型 | 第30-31页 |
| 3.3 基于Keating势能模型的硅纳米梁谐振频率的计算与仿真 | 第31-45页 |
| 3.3.1 <111>方向理想的硅纳米梁 | 第31-37页 |
| 3.3.2 <111>方向不同截面硅纳米梁谐振频率理论计算与结果 | 第37-39页 |
| 3.3.3 硅纳米梁谐振频率的仿真 | 第39-41页 |
| 3.3.4 <111>方向硅纳米梁谐振频率的理论计算结果与仿真结果讨论 | 第41-42页 |
| 3.3.5 <112>方向硅纳米梁的计算与仿真结果讨论 | 第42-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 表面重构的<111>晶向硅纳米梁谐振频率研究 | 第46-58页 |
| 4.1 表面重构的硅纳米梁 | 第46-47页 |
| 4.2 <111>方向重构的硅纳米梁谐振频率计算结果与仿真结果 | 第47-57页 |
| 4.2.1 <111>方向重构的硅纳米梁形变能 | 第47-54页 |
| 4.2.2 <111>方向重构的硅纳米梁谐振频率 | 第54-56页 |
| 4.2.3 <111>方向表面重构的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 总结 | 第58-59页 |
| 5.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 作者简介 | 第68页 |
