| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第13-35页 |
| 1.1 硅基光电子集成技术的发展与现状 | 第13-15页 |
| 1.2 硅基光调制器 | 第15-31页 |
| 1.2.1 硅基光调制器的光学结构 | 第17-18页 |
| 1.2.2 硅基光调制器的电极结构 | 第18-21页 |
| 1.2.3 纯硅基光调制器 | 第21-22页 |
| 1.2.4 硅基外延锗硅光调制器 | 第22-24页 |
| 1.2.5 硅基石墨烯光调制器 | 第24-25页 |
| 1.2.6 硅基聚合物光调制器 | 第25-27页 |
| 1.2.7 硅基其他电光材料光调制器 | 第27-28页 |
| 1.2.8 硅基混合集成Ⅲ-Ⅴ光调制器 | 第28-31页 |
| 1.3 本论文的内容和创新点 | 第31-35页 |
| 1.3.1 本论文的章节安排 | 第31-32页 |
| 1.3.2 本论文的主要创新点 | 第32-35页 |
| 2 硅基混合集成Ⅲ-Ⅴ波导 | 第35-59页 |
| 2.1 量子阱结构的设计 | 第35-46页 |
| 2.1.1 基本物理和数值计算方法 | 第36-44页 |
| 2.1.2 基于退火算法的优化设计 | 第44-46页 |
| 2.2 Ⅲ-Ⅴ外延片的总体设计 | 第46-47页 |
| 2.3 波导的设计 | 第47-58页 |
| 2.3.1 矩形波导的设计 | 第47-54页 |
| 2.3.2 蘑菇型波导的设计 | 第54-58页 |
| 2.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 3 硅波导和混合集成Ⅲ-Ⅴ波导的模式耦合 | 第59-75页 |
| 3.1 背景介绍 | 第59-60页 |
| 3.2 紧凑型三段式耦合结构的设计 | 第60-68页 |
| 3.3 紧凑三段式耦合结构的工艺探索 | 第68-72页 |
| 3.4 本章小结 | 第72-75页 |
| 4 低驱动电压硅基混合集成Ⅲ-Ⅴ电吸收光调制器 | 第75-103页 |
| 4.1 低驱动电压光调制器的原理 | 第75-77页 |
| 4.2 调制器的设计与仿真 | 第77-80页 |
| 4.3 混合集成调制器的制作 | 第80-92页 |
| 4.3.1 制作硅波导 | 第80-83页 |
| 4.3.2 基于DVS-BCB的粘贴键合的工艺 | 第83-85页 |
| 4.3.3 制作Ⅲ-Ⅴ波导 | 第85-91页 |
| 4.3.4 金属电极退火 | 第91-92页 |
| 4.4 硅基混合集成Ⅲ-Ⅴ电吸收光调制器的性能测试 | 第92-96页 |
| 4.4.1 静态性能 | 第92-94页 |
| 4.4.2 动态性能 | 第94-96页 |
| 4.5 硅基混合集成Ⅲ-Ⅴ电吸收光调制器的双工作模式 | 第96-101页 |
| 4.5.1 光探测器的静态性能 | 第96-97页 |
| 4.5.2 光探测器的动态性能 | 第97-98页 |
| 4.5.3 单片集成的光收发模块 | 第98-101页 |
| 4.6 本章小结 | 第101-103页 |
| 5 硅基反射微环的光调制器 | 第103-125页 |
| 5.1 微环内反射的理论分析 | 第104-107页 |
| 5.2 含内部反射的微环的设计与实验 | 第107-113页 |
| 5.2.1 结构参数设计和仿真 | 第108-111页 |
| 5.2.2 结构制作和实验结果 | 第111-113页 |
| 5.3 硅基可调反射镜的设计 | 第113-116页 |
| 5.4 硅基可调反射镜的微环光调制器的设计 | 第116-123页 |
| 5.5 本章小结 | 第123-125页 |
| 6 总结与展望 | 第125-129页 |
| 参考文献 | 第129-139页 |
| 作者简历 | 第139-141页 |
| 发表文章目录 | 第141页 |