| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-32页 |
| 1.1 MEMS技术的概述 | 第16-17页 |
| 1.2 RF MEMS简介 | 第17-18页 |
| 1.3 RF MEMS发展 | 第18-25页 |
| 1.4 RF MEMS常用工艺 | 第25-28页 |
| 1.5 RF MEMS技术的市场前景 | 第28-30页 |
| 1.6 本论文的主要内容和章节安排 | 第30-32页 |
| 第二章 RF MEMS开关 | 第32-53页 |
| 2.1 RF MEMS开关概述 | 第32-35页 |
| 2.1.1 RF MEMS开关与传统开关的比较 | 第32-33页 |
| 2.1.2 RF MEMS开关的分类 | 第33-35页 |
| 2.1.3 RF MEMS开关的基本参数 | 第35页 |
| 2.2 RF MEMS电容式开关 | 第35-41页 |
| 2.2.1 RF MEMS电容式开关工作的基本原理 | 第37-38页 |
| 2.2.2 RF MEMS开关的等效电路 | 第38-40页 |
| 2.2.3 RF MEMS电容式开关机械理论分析 | 第40-41页 |
| 2.3 RF MEMS接触式开关 | 第41-44页 |
| 2.3.1 RF MEMS接触式开关工作原理 | 第42-43页 |
| 2.3.2 RF MEMS接触式开关理论分析 | 第43-44页 |
| 2.4 RF MEMS电容式开关的仿真分析 | 第44-52页 |
| 2.4.1 RF MEMS电磁仿真软件建模 | 第45页 |
| 2.4.2 RF MEMS电容式开关电磁仿真 | 第45-49页 |
| 2.4.3 RF MEMS电容式开关机电性能仿真 | 第49-52页 |
| 2.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第三章 RF MEMS移相器 | 第53-72页 |
| 3.1 移相器的分类 | 第53-55页 |
| 3.2 DMTL型移相器 | 第55-60页 |
| 3.2.1 DMTL型移相器国内外发展情况 | 第55-57页 |
| 3.2.2 DMTL型移相器基本工作原理 | 第57-60页 |
| 3.3 反射型MEMS移相器 | 第60-62页 |
| 3.3.1 反射型MEMS移相器国内外发展情况 | 第60-62页 |
| 3.3.2 反射型移相器基本工作原理 | 第62页 |
| 3.4 开关线型MEMS移相器 | 第62-68页 |
| 3.4.1 开关型MEMS移相器国内外发展情况 | 第62-67页 |
| 3.4.2 开关型MEMS移相器工作原理 | 第67-68页 |
| 3.5 开关网络型MEMS移相器 | 第68-71页 |
| 3.5.1 开关网络型MEMS移相器国内外发展情况 | 第68-70页 |
| 3.5.2 开关网络型MEMS移相器工作原理 | 第70-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第四章 基于RF MEMS开关的4位DMTL移相器的设计 | 第72-83页 |
| 4.1 DMTL移相器设计要求 | 第72-73页 |
| 4.2 移相器基本单元设计 | 第73-77页 |
| 4.3 Ka波段移相器设计的基本结构及工作原理 | 第77-78页 |
| 4.4 移相器的电磁仿真分析 | 第78-81页 |
| 4.5 工艺流程设计 | 第81-82页 |
| 4.6 样品的研制 | 第82页 |
| 4.7 本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 结论与展望 | 第83-85页 |
| 5.1 结论 | 第83页 |
| 5.2 展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 攻读硕士期间的学术活动及成果情况 | 第90页 |
