| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| 1.1 研究的背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第11页 |
| 1.3 主要工作与内容安排 | 第11-12页 |
| 第二章 伺服系统环路滤波模块的基本原理与理论分析 | 第12-23页 |
| 2.1 MEMS加速度计的概述及其分类 | 第12-14页 |
| 2.1.1 梳齿式硅微机械加速度传感器 | 第12-13页 |
| 2.1.2 扭摆式电容加速度传感器 | 第13页 |
| 2.1.3 三明治摆式电容加速度传感器 | 第13-14页 |
| 2.2 MEMS建模中的数学关系 | 第14-16页 |
| 2.3 闭环加速度的系统分析 | 第16-19页 |
| 2.3.1 整个闭环系统的稳定性 | 第17-18页 |
| 2.3.2 根轨迹法来判定系统的稳定性 | 第18-19页 |
| 2.4 窗函数在建模中的使用 | 第19-23页 |
| 2.4.1 窗函数的旁瓣特性对输出频谱的影响 | 第20页 |
| 2.4.2 如何选择合适的窗函数 | 第20-23页 |
| 第三章 伺服系统环路滤波模块的设计与实现 | 第23-30页 |
| 3.1 MEMS加速度传感器伺服系统的MATLAB建模 | 第23-27页 |
| 3.2 MEMS伺服系统的测试结果 | 第27-30页 |
| 第四章 伺服系统数字抽取滤波模块的基本原理与理论分析 | 第30-35页 |
| 4.1 零极点对系统的影响分析 | 第30-31页 |
| 4.2 FIR滤波器 | 第31-32页 |
| 4.3 半带滤波器 | 第32-34页 |
| 4.4 抽取和插值 | 第34-35页 |
| 第五章 伺服系统数字抽取滤波模块的设计与实现 | 第35-48页 |
| 5.1 数字抽取滤波器功能描述 | 第35页 |
| 5.2 滤波器的设计方法 | 第35页 |
| 5.3 CIC滤波器 | 第35-42页 |
| 5.3.1 单级CIC及其频率特性 | 第35-36页 |
| 5.3.2 多级CIC和其频率特性分析 | 第36-38页 |
| 5.3.3 Hogenauer CIC的原理及其设计方法 | 第38页 |
| 5.3.4 MATLAB及其滤波器设计工具介绍 | 第38-39页 |
| 5.3.5 CIC的频谱分析 | 第39页 |
| 5.3.6 结构的设计仿真 | 第39页 |
| 5.3.7 CS5376滤波器介绍 | 第39-40页 |
| 5.3.8 CIC的FPGA验证流程 | 第40-41页 |
| 5.3.9 不同抽取结构的滤波器组的对比 | 第41-42页 |
| 5.4 FIR滤波器 | 第42-46页 |
| 5.4.1 FIR结构及其设计方法 | 第42-45页 |
| 5.4.2 FIR滤波器的FPGA实现 | 第45-46页 |
| 5.5 数字系统的FPGA验证 | 第46-48页 |
| 第六章 结论与展望 | 第48-49页 |
| 6.1 结论 | 第48页 |
| 6.2 展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 附录A 个人简历 | 第53-54页 |
| 附录B 在校期间发表的学术论文及研究成果 | 第54页 |
