| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外极紫外缺陷检测技术发展 | 第8-12页 |
| 1.3 非干涉成像检测技术的提出与发展 | 第12-15页 |
| 1.3.1 非干涉法的相位恢复的应用 | 第12-13页 |
| 1.3.2 非干涉法的相位恢复理论 | 第13-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 迭代相位恢复算法相关理论介绍 | 第17-29页 |
| 2.1 经典G-S迭代相位恢复算法 | 第17-19页 |
| 2.2 改进型迭代算法 | 第19-28页 |
| 2.2.1 杨-顾(Y-G)算法 | 第19-20页 |
| 2.2.2 误差减少算法 | 第20-21页 |
| 2.2.3 梯度搜索方法 | 第21-22页 |
| 2.2.4 混合输入输出算法 | 第22-23页 |
| 2.2.5 角谱理论多面加速迭代算法 | 第23-25页 |
| 2.2.6 多波长迭代算法 | 第25-27页 |
| 2.2.7 基于分数傅里叶变换(FRT)的G-S算法 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 多波长梯度加速相位恢复迭代算法理论研究 | 第29-39页 |
| 3.1 衍射传输理论 | 第29-33页 |
| 3.1.1 平面波角谱衍射传输理论 | 第29-31页 |
| 3.1.2 菲涅尔衍射传输理论 | 第31-32页 |
| 3.1.3 夫琅禾费衍射传播理论 | 第32-33页 |
| 3.2 梯度加速算法理论 | 第33-35页 |
| 3.3 多波长梯度加速相位恢复迭代算法 | 第35-38页 |
| 3.3.1 角谱衍射传输函数的编写 | 第35-36页 |
| 3.3.2 多波长梯度加速相位恢复迭代算法的编写 | 第36-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 多波长梯度加速相位恢复迭代算法的仿真模拟研究 | 第39-51页 |
| 4.1 算法可行性验证 | 第39-42页 |
| 4.1.1 高斯型相位面恢复 | 第39-40页 |
| 4.1.2 复杂信息相位面恢复 | 第40-42页 |
| 4.2 算法性能对比 | 第42-43页 |
| 4.3 算法参数对复原结果的影响 | 第43-50页 |
| 4.3.1 一定波段范围内波长数目 | 第43-45页 |
| 4.3.2 一定波长数目下波段范围 | 第45-47页 |
| 4.3.3 传输距离 | 第47-48页 |
| 4.3.4 相位恢复区间 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 多波长梯度加速相位恢复迭代算法的实验研究 | 第51-61页 |
| 5.1 实验光路的搭建 | 第51-52页 |
| 5.2 实验测试 | 第52-57页 |
| 5.2.1 入射光波面测试 | 第52-54页 |
| 5.2.2 分辨率板样品测试 | 第54-56页 |
| 5.2.3 字母e装片样品测试 | 第56-57页 |
| 5.3 实验局限性分析 | 第57-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 全文总结 | 第61-62页 |
| 6.2 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68页 |