| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 主要符号表 | 第17-18页 |
| 1 绪论 | 第18-43页 |
| 1.1 等离子体微细加工工艺概述 | 第18页 |
| 1.2 低温等离子体源概述 | 第18-23页 |
| 1.2.1 射频容性耦合等离子体源 | 第18-20页 |
| 1.2.2 微波电子回旋共振等离子体源 | 第20页 |
| 1.2.3 螺旋波等离子体源 | 第20-21页 |
| 1.2.4 射频感性耦合等离子体源 | 第21-23页 |
| 1.3 模式转换及回滞现象的研究进展 | 第23-33页 |
| 1.4 回滞现象的理论解释 | 第33-41页 |
| 1.5 模式转换及回滞现象研究中存在的问题 | 第41页 |
| 1.6 本文的研究内容及安排 | 第41-43页 |
| 2 理论模型及算法 | 第43-54页 |
| 2.1 引言 | 第43-44页 |
| 2.2 等效回路模型 | 第44-48页 |
| 2.2.1 容性支路 | 第45-46页 |
| 2.2.2 感性支路 | 第46-47页 |
| 2.2.3 线圈电流和电压 | 第47-48页 |
| 2.3 流体力学模型 | 第48-49页 |
| 2.4 电磁模型 | 第49-51页 |
| 2.5 流体力学方程的数值算法 | 第51-53页 |
| 2.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 3 放电模式转换和回滞现象的流体力学模拟 | 第54-74页 |
| 3.1 引言 | 第54-55页 |
| 3.2 氢气的化学反应过程 | 第55页 |
| 3.3 串联电容对放电模式转换的影响 | 第55-60页 |
| 3.3.1 串联电容对等离子体空间分布的影响 | 第55-58页 |
| 3.3.2 串联电容对电磁场空间分布的影响 | 第58-60页 |
| 3.4 串联电容对回滞过程的影响 | 第60-68页 |
| 3.4.1 等离子体参数随串联电容C_1的变化 | 第61-64页 |
| 3.4.2 等效回路电学参数随串联电容C_1的变化 | 第64-68页 |
| 3.5 输入电流对回滞过程的影响 | 第68-72页 |
| 3.6 本章小结 | 第72-74页 |
| 4 放电模式转换过程中电子的动力学行为 | 第74-95页 |
| 4.1 引言 | 第74页 |
| 4.2 流体/MC混合模型描述 | 第74-79页 |
| 4.2.1 伪碰撞技术 | 第76页 |
| 4.2.2 碰撞后电子速度 | 第76-78页 |
| 4.2.3 牛顿方程更新技术 | 第78-79页 |
| 4.3 不同放电模式中的EEDF | 第79-86页 |
| 4.4 不同放电模式下的反应速率 | 第86-88页 |
| 4.5 动力学效应对放电模式转换及回滞现象的影响 | 第88-89页 |
| 4.6 放电气压对模式转换及回滞现象的影响 | 第89-93页 |
| 4.7 本章小结 | 第93-95页 |
| 5 结论与展望 | 第95-98页 |
| 5.1 结论 | 第95-96页 |
| 5.2 创新点 | 第96-97页 |
| 5.3 展望 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-108页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 作者简介 | 第110页 |