| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·逐区显影和逐区刻蚀拼接流程及拼接方法 | 第13-18页 |
| ·本论文的研究工作 | 第18-19页 |
| 第二章 光栅衍射光相位的理论研究与实验验证 | 第19-34页 |
| ·基于严格耦合波理论的相位计算 | 第19-21页 |
| ·利用光栅衍射效率的MATLAB程序计算结果和GSOLVER软件计算结果对比验证程序的正确性 | 第21-26页 |
| ·基于严格耦合波理论相位计算方法的实验验证 | 第26-33页 |
| ·实验室制作光栅的一般工艺流程 | 第26-27页 |
| ·验证实验所需光栅掩膜的制作方法 | 第27-28页 |
| ·Zygo干涉仪简介 | 第28-29页 |
| ·光刻胶掩模的衍射波面测量 | 第29-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 光栅槽形参数测量新方法—相位测量法 | 第34-43页 |
| ·光栅槽形测量方法介绍 | 第34-35页 |
| ·光栅槽形相位测量法可行性的理论分析 | 第35-39页 |
| ·光栅0级反射光初相位与槽形关系的计算与分析 | 第35-37页 |
| ·光栅0级透射光初相位与槽形关系的计算与分析 | 第37-39页 |
| ·光栅槽形相位测量法可行性的实验验证 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 衍射光初相位在光栅拼接误差检测中的应用 | 第43-54页 |
| ·光栅形貌差异引起1级衍射光相位变化的分析和计算 | 第43-48页 |
| ·光栅1级衍射光相位差计算方法的实验验证 | 第48-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·总结 | 第54页 |
| ·展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |