| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| ·MEMS概述 | 第12页 |
| ·MEMS的特点 | 第12-13页 |
| ·MEMS的发展 | 第13页 |
| ·MEMS制造工艺 | 第13-15页 |
| ·体硅微制造技术 | 第14页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第14-15页 |
| ·LIGA技术 | 第15页 |
| ·MEMS的应用 | 第15-17页 |
| ·传感微系统 | 第15-16页 |
| ·微执行器 | 第16页 |
| ·信息微系统 | 第16页 |
| ·军用MEMS器件 | 第16-17页 |
| ·MEMS主要产品 | 第17-19页 |
| ·微马达 | 第17页 |
| ·微压力传感器 | 第17-18页 |
| ·微加速度传感器 | 第18页 |
| ·微机械陀螺仪 | 第18页 |
| ·MEMS谐振式传感器 | 第18-19页 |
| ·MEMS谐振器简介 | 第19-20页 |
| ·主要研究内容及工作安排 | 第20-22页 |
| 第2章 圆盘谐振器原理及设计 | 第22-35页 |
| ·圆盘谐振器原理 | 第22-24页 |
| ·圆盘谐振器参数分析 | 第24-31页 |
| ·谐振频率 | 第24-26页 |
| ·有效质量 | 第26-27页 |
| ·品质因数 | 第27-28页 |
| ·输出电流 | 第28-30页 |
| ·运动电阻 | 第30-31页 |
| ·功率处理能力 | 第31页 |
| ·电子等效电路 | 第31-32页 |
| ·静电弹簧软化效应 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 强惯性冲击下MEMS圆盘谐振器可靠性分析 | 第35-44页 |
| ·双端支撑圆盘谐振器结构分析 | 第35-36页 |
| ·惯性冲击下圆盘谐振器可靠性分析 | 第36-40页 |
| ·阶跃加速度 | 第36-38页 |
| ·脉冲加速度 | 第38-40页 |
| ·优化支撑梁尺寸 | 第40页 |
| ·数据分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 圆盘谐振器形变对电气刚度影响分析 | 第44-53页 |
| ·圆盘径向静电力下形变及电气刚度分析 | 第44-47页 |
| ·理论分析 | 第44-45页 |
| ·有限元分析 | 第45-47页 |
| ·圆盘纵向惯性力下形变及电气刚度分析 | 第47-51页 |
| ·理论分析 | 第47-49页 |
| ·有限元分析 | 第49-51页 |
| ·静电力和纵向惯性力同时作用下的电气刚度分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 DRIE工艺下的倾斜效应对MEMS圆盘谐振器的影响分析 | 第53-69页 |
| ·DRIE工艺概述 | 第53-55页 |
| ·DRIE工艺误差对圆盘谐振器参数影响分析 | 第55-61页 |
| ·理论分析 | 第55-57页 |
| ·数据分析 | 第57-59页 |
| ·有限元分析 | 第59-61页 |
| ·DRIE工艺误差对圆盘谐振器静电调谐影响分析 | 第61-67页 |
| ·倾斜效应对单个圆盘谐振频率影响分析 | 第61-64页 |
| ·倾斜效应对圆盘谐振器阵列静电调谐影响分析 | 第64-66页 |
| ·大规模圆盘谐振器阵列运动电阻分析 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第6章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·论文总结 | 第69-70页 |
| ·论文的不足与展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-79页 |
| 附录 | 第79页 |