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CVD法制备二硫化钼薄膜及物性研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-6页
第一章 绪论第6-22页
   ·引言第6-7页
   ·体相二硫化钼材料的研究第7-10页
   ·纳米二硫化钼材料的研究第10-12页
   ·二硫化钼纳米薄膜的制备方法第12-15页
   ·二硫化钼纳米薄膜的物性研究第15-17页
   ·二硫化钼纳米薄膜的应用第17-21页
   ·本论文选题依据与研究内容第21-22页
第二章 CVD法制备多层二硫化钼薄膜及物性研究第22-28页
   ·引言第22-23页
   ·CVD法制备二硫化钼薄膜的实验过程第23-24页
   ·沉积时间对二硫化钼薄膜形貌及尺寸的影响第24-25页
   ·沉积时间对二硫化钼薄膜厚度的影响第25-27页
   ·本章小结第27-28页
第三章 四层二硫化钼纳米薄膜的生长和物性研究第28-32页
   ·引言第28页
   ·四层二硫化钼纳米薄膜的制备过程第28页
   ·四层二硫化钼纳米薄膜的形貌表征第28-29页
   ·四层二硫化钼纳米薄膜的厚度表征第29-30页
   ·四层二硫化钼纳米材料的发光特性第30-31页
   ·本章小结第31-32页
结论第32-33页
致谢第33-34页
参考文献第34-36页

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