油膜厚度测量的双色光干涉光强调制方法
| 摘要 | 第1-11页 |
| Abstract | 第11-14页 |
| 物理量名称及符号表 | 第14-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-29页 |
| ·引言 | 第16-19页 |
| ·光干涉膜厚测量技术 | 第19-27页 |
| ·光干涉法的发展 | 第20-22页 |
| ·单色光干涉法 | 第22-24页 |
| ·彩色光干涉法 | 第24-26页 |
| ·双色光干涉法 | 第26-27页 |
| ·激光在测量中的应用 | 第27-28页 |
| ·本文主要研究内容及意义 | 第28-29页 |
| 第2章 油膜光干涉测量色度学模型的建立及分析 | 第29-53页 |
| ·总述 | 第29页 |
| ·油膜光干涉测量色度学模型的建立 | 第29-34页 |
| ·色度学相关概念 | 第29页 |
| ·干涉图像的色彩复现 | 第29-32页 |
| ·实验验证 | 第32-34页 |
| ·光干涉测量的成像特性分析 | 第34-51页 |
| ·分光层的影响 | 第35-42页 |
| ·垫层厚度的影响 | 第42-43页 |
| ·光源半高全宽的影响 | 第43-47页 |
| ·激光光源的优势 | 第47-49页 |
| ·润滑介质的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第3章 激光干涉系统的搭建 | 第53-66页 |
| ·总述 | 第53页 |
| ·激光旋转滤波法 | 第53-55页 |
| ·单色激光干涉系统的搭建 | 第55-59页 |
| ·单色激光光源的设计 | 第55-57页 |
| ·单色激光干涉验证 | 第57-59页 |
| ·双色激光干涉系统的搭建 | 第59-65页 |
| ·双色激光光源的设计 | 第59-62页 |
| ·双色激光光源的验证 | 第62-65页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| 第4章 双色光干涉光强调制膜厚测量技术 | 第66-89页 |
| ·总述 | 第66页 |
| ·双色光强度调制 G’-R’算法的提出 | 第66-71页 |
| ·原有双色光干涉法及误判点的产生 | 第66-69页 |
| ·基于干涉光强调制的 G’-R’算法的提出 | 第69-71页 |
| ·G’-R’法膜厚测量过程 | 第71-82页 |
| ·双色光干涉图像及干涉图像 RG 值的获取 | 第72-74页 |
| ·极值归一化（Normalization） | 第74-76页 |
| ·数据库的建立 | 第76-78页 |
| ·干涉图像的 G’-R’极值点的判定 | 第78-81页 |
| ·插值确定膜厚 | 第81-82页 |
| ·伪双色光干涉图像光强调制 G’-R’法计算膜厚 | 第82-88页 |
| ·双色光干涉 G’-R’法膜厚计算程序 | 第82-83页 |
| ·伪双色光干涉图像的 G’-R’法膜厚计算 | 第83-88页 |
| ·结论 | 第88-89页 |
| 第5章 光强调制法的特性分析及实验验证 | 第89-106页 |
| ·对光强调制膜厚测量原理的特性研究 | 第89-99页 |
| ·简化的光强调制方法数学模型的建立 | 第89-92页 |
| ·单色光波长、初相位及半高全宽对光强调制的影响 | 第92-97页 |
| ·多光束干涉对光强调制膜厚测量方法特性的影响 | 第97-99页 |
| ·双色激光光强调制测量膜厚 | 第99-104页 |
| ·球-盘静态接触 | 第100-104页 |
| ·结论 | 第104-106页 |
| 结论 | 第106-110页 |
| 参考文献 | 第110-114页 |
| 攻读硕士学位期间完成的学术论文及成果 | 第114-116页 |
| 致谢 | 第116页 |
