| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·微机械加速度计概述 | 第9页 |
| ·微机械加速度计的分类 | 第9-10页 |
| ·微机械加速度计的发展 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·国外研究现状 | 第11页 |
| ·国内研究现状 | 第11-12页 |
| ·微机械加速度传感器基本工作原理 | 第12-14页 |
| ·电容检测式微机械加速度计 | 第14-17页 |
| ·变间距式电容微机械加速度传感器 | 第14-16页 |
| ·变面积式电容微机械加速度传感器 | 第16-17页 |
| ·论文内容安排 | 第17-19页 |
| 第2章 微加速度计性能测试和自动标定方法 | 第19-26页 |
| ·微加速度性能指标 | 第19-20页 |
| ·加速度计性能测试方法 | 第20-24页 |
| ·加速度计测量范围 | 第20页 |
| ·加速度计零偏和零偏稳定性 | 第20-21页 |
| ·加速度计标度因数和标度因数重复性 | 第21-22页 |
| ·加速度计零偏不稳定性 | 第22页 |
| ·-1g～+1g 的非线性度 | 第22页 |
| ·温度特性 | 第22-24页 |
| ·加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 微加速度计自动标定和性能测试系统设计 | 第26-37页 |
| ·系统设计 | 第26-27页 |
| ·基于 DAQmx 的数据采集系统 | 第27-28页 |
| ·原始信号的产生 | 第28-30页 |
| ·程控 720 型多齿分度台 | 第28-29页 |
| ·小型温度试验箱 | 第29-30页 |
| ·信号调理电路的设计 | 第30-33页 |
| ·调制解调工作方式 | 第31-32页 |
| ·MS3110 可行性分析 | 第32-33页 |
| ·数据采集卡 | 第33-36页 |
| ·本文所用数据采集卡 | 第33-34页 |
| ·配置管理软件 MAX | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 微加速度计偏置电压和标度因数自动标定 LabVIEW 实现 | 第37-46页 |
| ·三点静态标定法步骤 | 第37-38页 |
| ·标定环境 | 第37页 |
| ·电容差测量 | 第37页 |
| ·积分电容 CF 测定 | 第37-38页 |
| ·补偿电容 CS1、CS2 测定 | 第38页 |
| ·数据存储 | 第38页 |
| ·三点静态标定法 LabVIEW 软件实现 | 第38-44页 |
| ·LabVIEW 软件开发平台 | 第38-40页 |
| ·自动标定方法的 LabVIEW 实现 | 第40-44页 |
| ·实验数据 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第5章 微加速度计性能及参数测试 LabVIEW 实现 | 第46-54页 |
| ·微机械加速度计性能参数测试软件总体设计 | 第46-47页 |
| ·微机械加速度计性能自动测试 LabVIEW 程序设计 | 第47-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 性能测试结果分析 | 第54-61页 |
| ·零偏稳定性分析 | 第54-55页 |
| ·标度因数和标度因数重复性分析 | 第55-56页 |
| ·零偏不稳定性分析 | 第56-58页 |
| ·-1g～+1g 的非线性度分析 | 第58-59页 |
| ·温度特性分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第7章 总结和展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
