摘要 | 第1-7页 |
ABSTRACT | 第7-13页 |
1 绪论 | 第13-24页 |
·引言 | 第13-14页 |
·铁酸铋材料的概述 | 第14-20页 |
·BiFeO_3的晶体结构 | 第14-16页 |
·BiFeO_3的铁电性能 | 第16页 |
·BiFeO_3的磁性能 | 第16-17页 |
·BiFeO_3的研究进展 | 第17-20页 |
·自组装单层膜技术简介 | 第20-23页 |
·自组装单层膜技术的发展动态 | 第20-22页 |
·自组装单层膜技术制备无机薄膜的原理 | 第22-23页 |
·本课题的主要研究内容和意义 | 第23-24页 |
2 实验部分 | 第24-32页 |
·实验所用试剂 | 第24页 |
·实验主要仪器 | 第24页 |
·实验工艺过程 | 第24-28页 |
·基板的选择及表面清洁处理 | 第24-26页 |
·基板表面的功能化 | 第26-27页 |
·前驱物溶液的配置 | 第27-28页 |
·薄膜的沉积 | 第28页 |
·有机物的去除 | 第28页 |
·薄膜的晶化 | 第28页 |
·薄膜的表征和性能测试 | 第28-32页 |
·薄膜的物相结构表征 | 第28-29页 |
·薄膜的微观形貌表征 | 第29页 |
·薄膜的微区成分表征 | 第29-30页 |
·薄膜介电性能的测试分析 | 第30-31页 |
·薄膜铁电性能的测试分析 | 第31页 |
·薄膜铁磁性能的测试分析 | 第31-32页 |
3 单层 BiFeO_3薄膜的制备及性能研究 | 第32-48页 |
·引言 | 第32-33页 |
·不同沉积方式对 BiFeO_3薄膜的影响 | 第33-35页 |
·不同沉积方式所制备的薄膜的物相结构分析 | 第33-34页 |
·不同沉积方式所制备的薄膜的微观形貌分析 | 第34-35页 |
·反向吸附制备单层 BiFeO_3薄膜的研究 | 第35-43页 |
·不同沉积温度对反向吸附的单层 BiFeO_3薄膜的影响 | 第35-38页 |
·不同醋酸含量对反向吸附的单层 BiFeO_3薄膜的影响 | 第38-40页 |
·不同沉积时间对反向吸附的单层 BiFeO_3薄膜的影响 | 第40-42页 |
·不同柠檬酸量对反向吸附的单层 BiFeO_3薄膜的影响 | 第42-43页 |
·自组装单层膜反向吸附诱导生长 BiFeO_3薄膜的机理分析 | 第43-46页 |
·本章小结 | 第46-48页 |
4 反向吸附逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜及性能研究 | 第48-60页 |
·引言 | 第48页 |
·实验工艺 | 第48-49页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的形貌分析 | 第49-51页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的表面形貌 | 第49-50页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的断面形貌 | 第50-51页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的物相分析 | 第51-53页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的成分分析 | 第53-54页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的性能分析 | 第54-59页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的介电性能 | 第54-56页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的铁电性能 | 第56-57页 |
·逐层自组装制备 BiFeO_3薄膜的铁磁性能 | 第57-59页 |
·本章小结 | 第59-60页 |
5 不同 Bi~(3+)含量对反向吸附制备 BiFeO_3薄膜的影响 | 第60-67页 |
·引言 | 第60页 |
·实验工艺 | 第60-61页 |
·不同 Bi~(3+)含量对 BiFeO_3薄膜物相及形貌的影响 | 第61-62页 |
·不同 Bi~(3+)含量对 BiFeO_3薄膜物相结构的影响 | 第61-62页 |
·不同 Bi~(3+)含量对 BiFeO_3薄膜微观形貌的影响 | 第62页 |
·不同 Bi~(3+)含量对 BiFeO_3薄膜性能的影响 | 第62-65页 |
·不同 Bi~(3+)含量对层 BiFeO_3薄膜介电性能的影响 | 第62-64页 |
·不同 Bi~(3+)含量对 BiFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第64-65页 |
·本章小结 | 第65-67页 |
6 工作总结与展望 | 第67-69页 |
·主要结论 | 第67-68页 |
·工作展望 | 第68-69页 |
致谢 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-78页 |
攻读学位期间发表的学术论文 | 第78-79页 |