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纳米金属Al,Au等薄膜的电阻非线性效应的研究

学位论文数据集第1-5页
摘要第5-7页
ABSTRACT第7-13页
第一章 绪论第13-21页
   ·论文的研究背景第13-14页
   ·纳米薄膜及其性质第14页
   ·纳米金属膜的制备方法第14-17页
     ·真空蒸发镀膜法第15页
     ·离子溅射镀膜第15-16页
     ·溶胶凝胶法第16页
     ·分子束外延法第16页
     ·电化学法第16-17页
     ·金属的有机化学沉积法第17页
   ·金属薄膜的导电特性理论研究第17-18页
   ·本论文选题的目的以及意义第18-19页
   ·本章小结第19-21页
第二章 表面纳米金属薄膜的制备第21-38页
   ·表面纳米金属薄膜的制备过程和实验所需仪器设备以及原材料第21-23页
     ·表面纳米金属薄膜的制备过程第21-22页
     ·试验中所需仪器设备第22-23页
     ·制备表面纳米金属薄膜所需原材料第23页
   ·表面纳米金属薄膜硅衬底的制备第23-24页
     ·纳米结构衬底材料及制备方法的选择第23-24页
     ·纳米结构硅衬底的制备第24页
   ·表面纳米结构硅衬底的表征第24-28页
     ·腐蚀时间不同的纳米硅衬底的表征第24-26页
     ·P 型硅衬底和 N 型硅衬底的表征第26-27页
     ·表面电阻率不同的硅衬底的表征第27-28页
   ·表面纳米金属(Al、Au)薄膜的制备第28-33页
     ·蒸发镀膜蒸镀 Al 膜第29-31页
     ·溅射镀膜溅射 Au 膜第31-32页
     ·生长双层纳米金属薄膜第32-33页
   ·表面纳米金属(Al、Au)薄膜的表征第33-37页
     ·蒸镀 Al 量子薄膜表面形貌的表征第33-34页
     ·溅射 Au 量子薄膜表面形貌的表征第34-35页
     ·双层纳米金属薄膜表面形貌的表征第35-37页
   ·本章小结第37-38页
第三章 理论模型的模拟计算第38-53页
   ·粒子流密度的计算第38-39页
   ·一维单方势垒的计算第39-42页
   ·一维双方势垒的计算第42-44页
   ·一维双方势垒伏安特性曲线的模拟第44-45页
   ·双方势垒伏安特性曲线分析第45-52页
     ·势阱宽度改变对伏安特性的影响第45-47页
     ·垒宽变化对伏安特性的影响第47-49页
     ·势垒高度变化对伏安特性的影响第49-52页
   ·本章小结第52-53页
第四章 金属纳米薄膜的伏安特性曲线分析第53-63页
   ·蒸镀 Al 纳米薄膜的伏安特性曲线分析第53-57页
   ·溅射 Au 纳米薄膜的伏安特性曲线分析第57-60页
   ·双层纳米薄膜的伏安特性曲线分析第60-61页
   ·本章小结第61-63页
第五章 总结与展望第63-65页
   ·总结第63-64页
   ·展望第64-65页
参考文献第65-69页
附录第69-70页
致谢第70-71页
研究成果及发表的学术论文第71-72页
导师简介第72-73页
作者简介第73-74页
硕士研究生学位论文答辩委员会决议书第74-75页

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