阳极掩膜微细电解加工微小群凹坑试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·选题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| ·微小群凹坑加工技术 | 第10-16页 |
| ·微细机械加工 | 第10-11页 |
| ·微细电火花加工 | 第11-12页 |
| ·激光微细加工 | 第12-13页 |
| ·超声加工 | 第13-14页 |
| ·微细电化学加工 | 第14-16页 |
| ·掩膜微细电解加工 | 第16-18页 |
| ·本文主要研究思路及内容 | 第18-20页 |
| 2 电解加工理论基础 | 第20-27页 |
| ·电解加工相关理论 | 第20-23页 |
| ·电解加工基本原理 | 第20页 |
| ·电极电位的形成 | 第20-21页 |
| ·阳极极化曲线 | 第21-22页 |
| ·法拉第定律 | 第22-23页 |
| ·电解加工参数 | 第23-24页 |
| ·极间电压 | 第23-24页 |
| ·电流密度 | 第24页 |
| ·脉冲电解加工技术 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 阳极掩膜微细电解加工群圆形凹坑 | 第27-41页 |
| ·阳极掩膜电解加工 | 第27-31页 |
| ·掩膜材料 | 第27页 |
| ·工艺流程 | 第27-29页 |
| ·夹具设计 | 第29-31页 |
| ·电场特性 | 第31-34页 |
| ·群圆形凹坑加工 | 第34-40页 |
| ·极间电压 | 第34-35页 |
| ·加工时间 | 第35-36页 |
| ·电流密度 | 第36-39页 |
| ·直径标准差 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 阳极掩膜微细电解加工典型异形凹坑 | 第41-58页 |
| ·掩膜图形补偿法 | 第41-44页 |
| ·方孔掩膜的电场特性及成形形貌 | 第41-43页 |
| ·补偿后的电场特性及成形形貌 | 第43-44页 |
| ·群方形凹坑脉冲加工 | 第44-52页 |
| ·脉冲电解加工试验 | 第45-47页 |
| ·艺参数对凹坑成形的影响 | 第47-52页 |
| ·方形微凸台加工 | 第52-54页 |
| ·电解刻字 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
