化学气相沉积法合成GaN纳米线阵列及其光学性能研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
1 绪论 | 第9-22页 |
·GaN发展历史 | 第9-10页 |
·GaN基本性质 | 第10-12页 |
·物理性质 | 第10-11页 |
·化学性质 | 第11页 |
·光学性质 | 第11页 |
·电学性质 | 第11-12页 |
·GaN纳米线的合成 | 第12-16页 |
·GaN纳米线的生长机制 | 第12-13页 |
·GaN纳米线制备方法 | 第13-16页 |
·GaN纳米阵列制备方法 | 第16-21页 |
·模板法 | 第16-19页 |
·催化剂法 | 第19-20页 |
·直接外延法 | 第20-21页 |
·选题依据和研究目标 | 第21-22页 |
2 实验 | 第22-26页 |
·实验主要试剂及衬底 | 第22页 |
·实验仪器设备 | 第22-24页 |
·实验所用检测设备 | 第24-26页 |
3 GaN纳米线的合成 | 第26-37页 |
·使用不同衬底合成GaN纳米线 | 第26-30页 |
·实验参数 | 第26-27页 |
·GaN产物的SEM分析 | 第27-28页 |
·GaN产物的XRD分析 | 第28-30页 |
·不同温度条件下合成GaN纳米线 | 第30-33页 |
·实验参数 | 第30页 |
·GaN产物的SEM分析 | 第30-31页 |
·GaN产物的XRD分析 | 第31-33页 |
·不同气流条件下合成GaN纳米线 | 第33-36页 |
·实验参数 | 第33页 |
·GaN产物SEM分析 | 第33-35页 |
·GaN产物XRD分析 | 第35-36页 |
·本章小结 | 第36-37页 |
4 GaN纳米线阵列的合成 | 第37-43页 |
·单层镀Al衬底上合成GaN纳米阵列 | 第37-39页 |
·氮化后蓝宝石衬底的SEM及XRD分析 | 第38页 |
·生成GaN纳米阵列的SEM及XRD分析 | 第38-39页 |
·在多层镀层上合成GaN纳米线阵列 | 第39-42页 |
·合成GaN纳米线阵列的SEM及XRD分析 | 第39-40页 |
·合成GaN纳米线阵列的TEM分析 | 第40-41页 |
·合成GaN纳米线阵列的CL分析 | 第41-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
5 锑磷共掺杂GaN纳米线 | 第43-48页 |
·锑磷共掺杂GaN纳米线的合成 | 第43-44页 |
·SEM及XRD分析结果 | 第44-45页 |
·TEM及EDX分析结果 | 第45-46页 |
·CL分析结果 | 第46-47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
结论 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-53页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53-54页 |
致谢 | 第54-55页 |