| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-24页 |
| ·单晶蓝宝石晶体的介绍和生长技术 | 第8-12页 |
| ·单晶蓝宝石的晶格结构 | 第8-9页 |
| ·单晶蓝宝石各项性能 | 第9-11页 |
| ·单晶蓝宝石的生长技术 | 第11-12页 |
| ·单晶蓝宝石的应用及加工要求 | 第12-14页 |
| ·单晶蓝宝石超精密加工技术现状 | 第14-21页 |
| ·单晶蓝宝石研磨技术 | 第15-17页 |
| ·单晶蓝宝石固结磨料研磨技术 | 第17-19页 |
| ·单晶蓝宝石磨削技术 | 第19页 |
| ·单晶蓝宝石化学机械抛光(CMP)技术 | 第19-21页 |
| ·单晶蓝宝石机械化学抛光(MCP)技术 | 第21页 |
| ·单晶蓝宝石的固结磨料机械化学抛光(FA-MCP) | 第21-22页 |
| ·固结磨料研磨技术概述 | 第21页 |
| ·蓝宝石基片固结磨料磨抛技术发展现状 | 第21-22页 |
| ·课题研究内容 | 第22-24页 |
| 2 单晶蓝宝石FA-MCP的原理和要求 | 第24-30页 |
| ·单晶蓝宝石FA-MCP原理 | 第24-26页 |
| ·蓝宝石固相化学反应原理 | 第24-25页 |
| ·单晶蓝宝石FA-MCP原理分析 | 第25-26页 |
| ·蓝宝FA-MCP抛光盘的要求 | 第26-29页 |
| ·对磨料的要求 | 第26-28页 |
| ·对磨料粒度的要求 | 第28页 |
| ·对结合剂的要求 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 FA-MCP抛光盘的制作工艺与配方优化 | 第30-41页 |
| ·FA-MCP加工方式 | 第30页 |
| ·FA-MCP抛光盘设计 | 第30-33页 |
| ·FA-MCP抛光盘基体设计 | 第30-31页 |
| ·FA-MCP抛光盘结构设计 | 第31-32页 |
| ·FA-MCP抛光盘磨块模具结构设计 | 第32-33页 |
| ·FA-MCP抛光盘配方设计 | 第33-34页 |
| ·树脂结合剂FA-MCP抛光盘磨块配方设计 | 第33-34页 |
| ·氯氧镁结合剂FA-MCP抛光盘磨块配方设计 | 第34页 |
| ·FA-MCP抛光盘制作流程 | 第34-39页 |
| ·氯氧镁结合剂FA-MCP抛光盘制作工艺 | 第34-37页 |
| ·树脂结合剂FA-MCP抛光盘制作工艺 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 4 单晶蓝宝石FA-MCP工艺试验 | 第41-56页 |
| ·试验条件及检测方法 | 第41-46页 |
| ·试验条件 | 第41-42页 |
| ·检测手段 | 第42-43页 |
| ·金刚石研磨盘研磨蓝宝石试样准备 | 第43-46页 |
| ·FA-MCP抛光盘配方优化试验 | 第46-53页 |
| ·结合剂的选用 | 第47-48页 |
| ·磨料的选用 | 第48-51页 |
| ·磨料浓度的选用 | 第51-52页 |
| ·磨料粒度的选用 | 第52-53页 |
| ·FA-MCP抛光盘研磨蓝宝石工艺试验 | 第53-55页 |
| ·研磨性能对比试验 | 第53-54页 |
| ·FA-MCP抛光盘研磨蓝宝石工艺试验 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |