| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-16页 |
| ·齿轮的强化处理 | 第9-15页 |
| ·全方位离子注入与沉积复合强化工艺(PIII& D) | 第15-16页 |
| ·课题研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 实验材料、装置及实验方法 | 第17-24页 |
| ·实验材料及试样制备 | 第17页 |
| ·实验材料 | 第17页 |
| ·试样制备 | 第17页 |
| ·实验装置简介 | 第17-19页 |
| ·实验方案 | 第19-21页 |
| ·实验流程 | 第19-20页 |
| ·实验方案 | 第20-21页 |
| ·性能测试 | 第21-23页 |
| ·X 射线衍射分析(XRD) | 第21-22页 |
| ·显微硬度测试 | 第22页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第22页 |
| ·膜基结合力测试 | 第22-23页 |
| ·光学显微镜观察 | 第23页 |
| ·扫描电镜分析(SEM) | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 薄膜成分测试与分析 | 第24-28页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·复合膜层的XRD 测试及分析 | 第24-25页 |
| ·Raman 光谱测试及分析 | 第25-27页 |
| ·测试原理及方案 | 第25-26页 |
| ·测试结果与分析 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第4章 复合膜层的机械性能研究 | 第28-43页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·显微硬度性能研究 | 第28-30页 |
| ·摩擦磨损性能研究 | 第30-36页 |
| ·单层DLC 薄膜测试结果及分析 | 第30-32页 |
| ·TiN/TiCN/DLC 复合膜层测试结果及分析 | 第32-36页 |
| ·膜基结合力研究 | 第36-41页 |
| ·单层DLC 薄膜测试结果及分析 | 第36-37页 |
| ·TiN/TiCN/DLC 复合膜层测试结果及分析 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第5章 膜层均匀性研究 | 第43-48页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·复合膜层SEM 扫描测试结果及分析 | 第43-47页 |
| ·装夹位置对膜层均匀性的影响 | 第43-46页 |
| ·工艺参数对均匀性的影响 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
