WS2/Ag、Mo硫化物/Ti复合薄膜的环境摩擦磨损
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·固体润滑剂 | 第9-11页 |
| ·固体润滑剂概述 | 第9-10页 |
| ·固体润滑剂的分类 | 第10页 |
| ·固体润滑剂的使用方法 | 第10-11页 |
| ·薄膜及其制备方法 | 第11-16页 |
| ·薄膜的定义与类型 | 第11页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第11-16页 |
| ·固体润滑剂MoS_2、WS_2概述 | 第16-21页 |
| ·MoS_2、WS_2的结构及性能 | 第16-17页 |
| ·MoS_2、WS_2薄膜的研究进展 | 第17-21页 |
| ·本课题的立题依据及研究意义 | 第21-23页 |
| 第二章 射频溅射WS_2/Ag复合薄膜的摩擦磨损 | 第23-38页 |
| ·WS_2/Ag复合薄膜的制备 | 第23-27页 |
| ·靶材制备 | 第23页 |
| ·基体预处理 | 第23-24页 |
| ·射频溅射沉积WS_2/Ag复合薄膜 | 第24-27页 |
| ·WS_2/Ag复合薄膜的微观结构及形貌 | 第27-33页 |
| ·薄膜的微观结构 | 第27-29页 |
| ·薄膜截面形貌及沉积速率 | 第29-31页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第31-33页 |
| ·薄膜的结合力 | 第33-34页 |
| ·WS_2/Ag复合薄膜的摩擦磨损性能 | 第34-37页 |
| ·不同Ag含量薄膜的环境摩擦学性能 | 第34-36页 |
| ·溅射气压对薄膜摩擦学性能的影响 | 第36页 |
| ·薄膜的摩擦磨损性能 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 硫化法制备Mo硫化物/Ti复合薄膜 | 第38-46页 |
| ·磁控溅射制备Mo/Ti前驱体薄膜 | 第38-41页 |
| ·磁控溅射概述 | 第38-39页 |
| ·磁控溅射仪 | 第39-40页 |
| ·Mo/Ti前驱体膜的制备 | 第40-41页 |
| ·前驱体表征 | 第41-44页 |
| ·前驱体的成分测定 | 第41页 |
| ·前驱体结构分析 | 第41-42页 |
| ·前驱体膜的厚度 | 第42-43页 |
| ·前驱体表面形貌 | 第43-44页 |
| ·前驱体薄膜的硫化 | 第44-45页 |
| ·Mo的化学性质 | 第44页 |
| ·硫化工艺 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 Mo硫化物/Ti复合薄膜的结构及摩擦磨损 | 第46-60页 |
| ·Mo硫化物/Ti复合薄膜的显微结构分析 | 第46-53页 |
| ·薄膜的XRD分析 | 第46-48页 |
| ·薄膜的成分测定 | 第48-49页 |
| ·薄膜的微观形貌 | 第49-53页 |
| ·Mo硫化物/Ti复合薄膜的界面结合力 | 第53-54页 |
| ·硫化温度对薄膜结合力的影响 | 第53页 |
| ·硫化时间对薄膜结合力的影响 | 第53-54页 |
| ·Mo硫化物/Ti复合薄膜的摩擦磨损性能 | 第54-58页 |
| ·摩擦系数分析 | 第54-57页 |
| ·磨损性能测定 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 附录 | 第69页 |
