基于STI隔离的片上铜线电感及其在滤波电路中的应用

摘要	第1-7页
Abstract	第7-9页
第一章 绪论	第9-16页
·引言	第9-10页
·片上电感研究现状及应用	第10-14页
·本文的立题意义及创新点	第14页
·研究内容	第14-16页
第二章 电感的损耗分析及优化设计	第16-28页
·螺旋电感的基本结构及分类	第16-17页
·螺旋电感的性能参数	第17-19页
·螺旋电感的损耗分析及优化	第19-28页
第三章 铜工艺螺旋电感的制备和测试	第28-43页
·铜工艺螺旋电感的工艺流程	第28-30页
·铜工艺螺旋电感的在片测试	第30-33页
·铜工艺螺旋电感测试结果分析	第33-43页
第四章 沟槽隔离结构电感的提出及性能分析	第43-51页
·浅沟槽隔离的研究背景与理论基础	第43-44页
·优化沟槽隔离的螺旋电感设计思想及验证	第44-46页
·沟槽隔离螺旋电感的性能分析	第46-51页
第五章 沟槽隔离结构电感在射频滤波电路中的应用	第51-62页
·无源射频滤波器性能分析	第51-53页
·无源低通滤波器的设计	第53-55页
·无源低通滤波器的仿真结果与分析	第55-62页
第六章 总结与展望	第62-64页
·本文总结	第62页
·展望	第62-64页
参考文献	第64-68页
攻读硕士学位期间的论文发表及专利申请情况	第68-69页
致谢	第69页