| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第5-9页 |
| 第二章 文献综述 | 第9-19页 |
| 第一节 氧传感器的发展历史及形状 | 第9-12页 |
| 第二节 半导体氧传感器的材料基础及敏感机制 | 第12-18页 |
| 第三节 课题的目的和任务 | 第18-19页 |
| 第三章 二氧化锡的敏感机理和湿度的干扰机理 | 第19-30页 |
| 第一节 二氧化锡的材料基础和敏感机理 | 第19-26页 |
| 第二节 湿度对传感器性能影响的理论基础 | 第26-30页 |
| 第四章 传感器的置备工艺及方案 | 第30-42页 |
| 第一节 超微二氧化锡粉末的置备方法 | 第30-33页 |
| 第二节 成膜技术 | 第33-42页 |
| 第五章 实验使用传感器的结构设计及实现 | 第42-50页 |
| 第一节 传感器的设计 | 第42-44页 |
| 第二节 敏感材料的选择及超微材料的置备 | 第44-46页 |
| 第三节 传感器的制作 | 第46-50页 |
| 第六章 传感器的测试 | 第50-58页 |
| 第一节 实验装置 | 第50-51页 |
| 第二节 传感器的响应特性 | 第51-58页 |
| 第七章 展望 | 第58-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66页 |