| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题的研究背景 | 第11-16页 |
| ·微波等离子体概述 | 第11-12页 |
| ·微波等离子体的基本参量 | 第12页 |
| ·微波等离子体的诊断方法 | 第12-15页 |
| ·微波等离子体源的研究现状 | 第15-16页 |
| ·课题的研究意义 | 第16-17页 |
| ·本文研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 微波等离子体产生原理与实验系统的建立 | 第19-35页 |
| ·微波等离子体的产生原理 | 第19-21页 |
| ·微波产生等离子体的物理过程 | 第19-20页 |
| ·微波与等离子体的相互作用 | 第20-21页 |
| ·微波等离子体试验系统的建立 | 第21-28页 |
| ·微波源的工作原理 | 第21页 |
| ·矩形波导微波场分布理论 | 第21-24页 |
| ·微波激励等离子体实验系统的建立 | 第24-28页 |
| ·发射光谱法诊断等离子体电子激发温度原理 | 第28-30页 |
| ·发射光谱简介 | 第28-29页 |
| ·发射光谱法诊断原理 | 第29-30页 |
| ·朗缪尔(Langmuir)探针法诊断等离子体电子温度和电子密度 | 第30-34页 |
| ·朗缪尔(Langmuir)探针法诊断原理 | 第30-31页 |
| ·双探针法诊断原理 | 第31-32页 |
| ·探针的制作过程 | 第32-33页 |
| ·双探针法诊断装置及诊断过程 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 微波等离子体的特性研究 | 第35-58页 |
| ·微波等离子体的光谱特性 | 第35-36页 |
| ·氮气等离子体的光谱特性 | 第35-36页 |
| ·氩气等离子体的光谱特性 | 第36页 |
| ·反应腔结构对微波激励等离子体的影响 | 第36-40页 |
| ·短路活塞位置对微波激励等离子体的影响 | 第37-39页 |
| ·反应腔结构对微波等离子体的影响 | 第39-40页 |
| ·微波功率和工作气压对微波激励等离子体的影响 | 第40-45页 |
| ·微波输入功率对微波激励等离子体的影响 | 第40-42页 |
| ·气压对微波等离子体的影响 | 第42-45页 |
| ·氩气微波等离子体离子光谱激发特性研究 | 第45-50页 |
| ·氩气微波等离子体中离子激发情况 | 第46页 |
| ·氩气微波等离子体光谱强度的变化 | 第46-50页 |
| ·发射光谱法诊断微波等离子体电子激发温度实验结果与分析 | 第50-52页 |
| ·发射光谱法诊断氩等离子体 | 第50页 |
| ·发射光谱诊断试验结果与分析 | 第50-52页 |
| ·双探针法诊断微波等离子体电子温度和电子密度实验结果与分析 | 第52-56页 |
| ·微波输入功率对电子温度和电子密度的影响 | 第52-54页 |
| ·工作气压对电子温度和电子密度的影响 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第4章 微波等离子体甲烷制氢实验探讨 | 第58-65页 |
| ·引言 | 第58-59页 |
| ·微波等离子体甲烷制氢反应机理探讨 | 第59-60页 |
| ·甲烷等离子体状态 | 第59页 |
| ·氢气等离子体状态 | 第59-60页 |
| ·微波等离子体甲烷制氢的自由基反应机理 | 第60页 |
| ·微波等离子体甲烷制氢实验过程 | 第60-61页 |
| ·微波等离子体甲烷制氢实验结果与分析 | 第61-63页 |
| ·微波等离子体甲烷制氢产物分析 | 第61-62页 |
| ·微波输入功率对甲烷制氢结果的影响 | 第62-63页 |
| ·气压对甲烷制氢结果的影响 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 结论与展望 | 第65-67页 |
| ·结论 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
