| ABSTRACT | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ACKNOWLEDGEMENTS | 第6-9页 |
| LIST OF FIGURES | 第9-11页 |
| 1 INTRODUCTION | 第11-21页 |
| ·Background | 第11-13页 |
| ·System Identification | 第13-16页 |
| ·Profile Planning | 第16-17页 |
| ·System Description | 第17-19页 |
| ·Outline | 第19-21页 |
| 2 THEORETICAL MODEL CALCULATIONS | 第21-27页 |
| ·General Model Description | 第21-23页 |
| ·Dynamic Model of The X-Y Table System | 第23-26页 |
| ·Summary | 第26-27页 |
| 3 SYSTEM IDENTIFICATION | 第27-43页 |
| ·Parameter Identification Method | 第27-31页 |
| ·Experiments and Identification | 第31-39页 |
| ·Experimental Verification and Conclusion | 第39-42页 |
| ·Summary | 第42-43页 |
| 4 PROFILE PLANNING | 第43-54页 |
| ·Trapezoidal Velocity Profile | 第44页 |
| ·3rd Order S-curve Model | 第44-45页 |
| ·4th Order S-curve Model | 第45-48页 |
| ·nth Order S-curve Model | 第48页 |
| ·Comparison and Optimization | 第48-53页 |
| ·Summary | 第53-54页 |
| 5 PERFORMANCE LIMITATION ESTIMATION | 第54-62页 |
| ·Method of Limitation Estimation | 第54-57页 |
| ·Software Building | 第57-61页 |
| ·Summary | 第61-62页 |
| 6 CONCLUSIONS | 第62-64页 |
| ·Conclusions | 第62-63页 |
| ·Future Work | 第63-64页 |
| REFERENCES | 第64-67页 |
| PUBLICATIONS | 第67-68页 |
