同轴ECR微波等离子体系统设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·微波等离子体 | 第8-10页 |
| ·等离子体概述 | 第8-9页 |
| ·微波等离子体 | 第9页 |
| ·微波等离子体的应用 | 第9-10页 |
| ·微波等离子体系统 | 第10-16页 |
| ·微波源 | 第10-12页 |
| ·微波传输系统 | 第12-13页 |
| ·微波反应腔 | 第13-14页 |
| ·等离子体工作腔 | 第14页 |
| ·支持系统 | 第14-16页 |
| 2 ECR微波等离子体系统 | 第16-25页 |
| ·ECR微波等离子体系统的电磁学原理 | 第16-19页 |
| ·普通微波等离子系统的激发原理 | 第16-17页 |
| ·电子回旋共振激发等离子体原理 | 第17-19页 |
| ·常见ECR微波等离子体系统 | 第19-22页 |
| ·直接耦合ECR微波等离子体系统 | 第19-20页 |
| ·多极场位型ECR微波等离子体系统 | 第20-21页 |
| ·同轴ECR微波等离子体系统 | 第21-22页 |
| ·ECR微波等离子体系统共振条件 | 第22-25页 |
| 3 同轴ECR微波等离子体系统设计 | 第25-35页 |
| ·设计要求及系统概述 | 第25-26页 |
| ·系统设计要求 | 第25页 |
| ·系统概述 | 第25-26页 |
| ·系统各部分组成 | 第26-33页 |
| ·微波源 | 第26-27页 |
| ·波导三端环行器 | 第27-28页 |
| ·三销钉调配器 | 第28-29页 |
| ·定向耦合器 | 第29-30页 |
| ·功率计 | 第30页 |
| ·匹配负载 | 第30-31页 |
| ·同轴辐射器 | 第31-33页 |
| ·其他各部分 | 第33页 |
| ·系统设备选型及参数 | 第33-35页 |
| 4 开缝同轴的能量辐射 | 第35-48页 |
| ·同轴线的传输模式 | 第35-39页 |
| ·同轴线的主模 | 第35-37页 |
| ·同轴线的主模参量 | 第37页 |
| ·同轴线的高次模—TM模和TE模 | 第37-39页 |
| ·同轴线的内部能量 | 第39-40页 |
| ·同轴线的尺寸选择 | 第40-41页 |
| ·最大耐压条件 | 第40页 |
| ·最大功率条件 | 第40-41页 |
| ·最小衰减条件 | 第41页 |
| ·同轴表面的缝隙 | 第41-48页 |
| ·缝隙表面的电场分布 | 第42页 |
| ·自由空间的能量分布 | 第42-45页 |
| ·单个缝隙的特性阻抗及等效电路 | 第45-46页 |
| ·多个缝隙之间的阻抗关系 | 第46-48页 |
| 5 同轴辐射器性能仿真 | 第48-60页 |
| ·Ansoft HFSS介绍 | 第48页 |
| ·仿真模型介绍 | 第48-50页 |
| ·仿真结果 | 第50-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
