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电化学共沉积ZnSe薄膜材料及抑氢机理研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
1 绪论第10-22页
   ·课题来源与背景第10页
   ·ZnSe薄膜的基本特性及应用第10-13页
     ·ZnSe薄膜的基本特性第10-12页
     ·ZnSe薄膜的基本应用第12-13页
   ·电化学沉积简介第13页
   ·ZnSe制备技术研究现状第13-17页
     ·化学气相沉积法(CVD)第13-14页
     ·金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)第14页
     ·物理气相沉积法(PVD)第14页
     ·分子束外延生长法(MBE)第14-15页
     ·热壁外延法(HWE)第15页
     ·化学浴沉积法(CBD)第15-16页
     ·脉冲激光沉积法(PLD)第16页
     ·光化学沉积法(PCD)第16页
     ·原子层外延生长法(ALE)第16-17页
   ·国外电化学沉积ZnSe薄膜研究现状第17-19页
     ·酸性体系电沉积制备ZnSe薄膜第17页
     ·电沉积掺杂制备p、n 型ZnSe薄膜第17-18页
     ·三维体系电沉积制备ZnSe薄膜第18页
     ·固熔体系电沉积制备ZnSe薄膜第18-19页
   ·本课题的主要研究内容第19-20页
   ·本章小结第20-22页
2 电化学共沉积理论第22-34页
   ·电化学共沉积原理第22-33页
     ·电极电位第23-28页
     ·过电位第28-33页
   ·电化学沉积物转化为合成物的热力学分析第33页
   ·本章小结第33-34页
3 电化学共沉积ZnSe薄膜实验第34-48页
   ·实验方案的设计第34页
   ·实验装置与原料第34-36页
     ·实验装置的设计第34-35页
     ·电解液的组成第35页
     ·电极的处理第35-36页
   ·实验参数的分析与选择第36-42页
     ·浓度比的分析与选择第36-40页
     ·络合剂的分析与选择第40-41页
     ·pH 值的分析与选择第41页
     ·电流密度的分析与选择第41-42页
     ·沉积温度的分析与选择第42页
     ·沉积时间的分析与选择第42页
   ·测试与表征第42-47页
     ·分光光度计第42-44页
     ·扫描电子显微镜第44-46页
     ·X-射线衍射第46-47页
   ·本章小结第47-48页
4 实验结果与分析第48-66页
   ·沉积参数对ZnSe薄膜成分的影响第48-55页
     ·pH 值对ZnSe薄膜成分的影响第48-49页
     ·电流密度对ZnSe薄膜成分的影响第49-50页
     ·沉积时间对ZnSe薄膜成分的影响第50-52页
     ·Zn~(2+)/Se0_3~(2-)浓度比对ZnSe薄膜成分的影响第52-53页
     ·柠檬酸钠对ZnSe薄膜成分的影响第53-54页
     ·温度对ZnSe薄膜成分的影响第54-55页
   ·电沉积ZnSe薄膜的正交试验设计第55-62页
     ·正交试验设计第55-57页
     ·ZnSe薄膜成分分析第57-60页
     ·ZnSe薄膜形貌分析第60-62页
   ·ZnSe薄膜表征第62-64页
     ·扫描电子显微镜分析第62-63页
     ·X-射线衍射分析第63-64页
     ·薄膜附着力测试第64页
     ·薄膜厚度的测试第64页
     ·电阻的测试第64页
   ·本章小结第64-66页
5 ZnSe阴极抑氢机理探讨第66-70页
   ·氢析出反应机理第66-67页
   ·实验研究方法第67页
   ·不同电极对析氢过电势的影响第67-69页
   ·本章小结第69-70页
6 总结与展望第70-72页
   ·论文完成的主要结论第70页
   ·今后工作展望第70-72页
参考文献第72-78页
附录第78-86页
致谢第86页

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