多孔硅上固相晶化制备晶硅薄膜的初步研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 序言 | 第9-25页 |
| ·太阳能电池的研究意义 | 第9-11页 |
| ·太阳能电池的研究现状 | 第11-18页 |
| ·单晶硅太阳电池 | 第11-12页 |
| ·多晶硅电池 | 第12-13页 |
| ·薄膜太阳电池 | 第13-18页 |
| ·硅太阳能电池工作原理 | 第18-24页 |
| ·p-n结的形成 | 第18-20页 |
| ·硅太阳电池的基本结构及性能 | 第20-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第二章 多晶硅薄膜制备 | 第25-39页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·晶体硅薄膜太阳电池研究的技术路线 | 第25-31页 |
| ·高温沉积和区熔再结晶 | 第25-26页 |
| ·低温沉积 | 第26-29页 |
| ·层转移技术 | 第29-31页 |
| ·多晶硅薄膜的制备方法 | 第31-37页 |
| ·化学气相沉积法 | 第31-33页 |
| ·液相外延 | 第33页 |
| ·二次晶化的方法 | 第33-34页 |
| ·层转移方法 | 第34-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| ·开题思想 | 第38-39页 |
| 第三章 电化学制备多孔硅 | 第39-55页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·多孔硅的形成 | 第39-46页 |
| ·多孔硅的形成机理 | 第39-41页 |
| ·多孔硅形成的理论模型 | 第41-43页 |
| ·多孔硅的制备方法 | 第43-46页 |
| ·多孔硅巨大的表面积使其具有很多独特的性质 | 第46页 |
| ·实验设计 | 第46页 |
| ·结果及分析 | 第46-54页 |
| ·多孔硅孔隙率的研究 | 第46-50页 |
| ·多孔硅表面形貌的分析 | 第50-51页 |
| ·多孔硅的剥离研究 | 第51-53页 |
| ·多孔硅层反射率 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第四章 多孔硅上制备晶硅薄膜 | 第55-64页 |
| ·实验设计 | 第55页 |
| ·结果与分析 | 第55-63页 |
| ·衬底对硅薄膜微结构的影响 | 第55-57页 |
| ·热退火和快速光热退火分析 | 第57-58页 |
| ·退火温度对固相晶化的影响 | 第58-60页 |
| ·掺杂对固相晶化的影响 | 第60-62页 |
| ·退火时间对固相晶化的影响 | 第62页 |
| ·退火晶化后出现的翘皮 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第五章 结论及下一步设想 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第64-65页 |
| ·实验还需完善 | 第65页 |
| ·实验的进一步设想 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-75页 |
| 硕士期间发表论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
