| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题来源 | 第7页 |
| ·选题背景及意义 | 第7-9页 |
| ·微表面形貌测量原理与方法 | 第9-12页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 扫描白光干涉技术原理及系统设计 | 第13-26页 |
| ·白光干涉仪光路结构类型分析 | 第13-16页 |
| ·扫描白光干涉技术原理 | 第16-20页 |
| ·表面形貌测量系统总体设计及分析 | 第20-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 白光干涉处理算法及仿真研究 | 第26-41页 |
| ·常用处理算法 | 第26-30页 |
| ·SEST 算法 | 第30-34页 |
| ·仿真研究 | 第34-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 实验系统及性能测试分析 | 第41-54页 |
| ·系统硬件实现 | 第41-42页 |
| ·系统软件设计 | 第42-44页 |
| ·系统性能测试 | 第44-51页 |
| ·系统误差分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·全文总结 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |