| 第一章：引言 | 第1-19页 |
| ·SiC材料的结构与特性 | 第10-12页 |
| ·SiC材料的制备 | 第12-14页 |
| ·SiC材料的器件应用 | 第14-15页 |
| ·本论文的研究思路和主要内容 | 第15-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章：薄膜的制备 | 第19-27页 |
| ·薄膜的制备 | 第19-23页 |
| ·本实验样品的制备 | 第23-24页 |
| ·基片的清洗 | 第24-25页 |
| ·样品的退火处理 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-27页 |
| 第三章：薄膜的表征 | 第27-36页 |
| ·膜厚的测量 | 第27-28页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第28-29页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第29页 |
| ·扫描电子显微镜分析(SEM) | 第29-30页 |
| ·X射线光电子谱(XPS) | 第30-31页 |
| ·傅立叶变换红外光谱分析(FTIR) | 第31-32页 |
| ·原子力显微镜分析(AFM) | 第32-33页 |
| ·光致发光分析(PL) | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第四章：SiC薄膜的结构和光致发光性质的研究 | 第36-43页 |
| ·制备参数对SiC薄膜的影响 | 第36-37页 |
| ·退火温度对SiC薄膜结构的影响 | 第37-40页 |
| ·退火温度对SiC薄膜发光性质的影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第五章：Al掺杂SiC薄膜的结构和光致发光性质的研究 | 第43-52页 |
| ·Al-SiC薄膜的结构 | 第43-48页 |
| ·Al-SiC薄膜在不同退火温度下的发光性质 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第六章：SiC／ZnO／Si薄膜的结构和光致发光性质的研究 | 第52-58页 |
| ·SiC／ZnO／Si薄膜的发光性质 | 第52-53页 |
| ·SiC／ZnO／Si薄膜的结构 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第七章：Zno／SiC／Si薄膜的结构和光致发光性质的研究 | 第58-64页 |
| ·ZnO／SiC／Si薄膜的结构 | 第58-61页 |
| ·ZnO／SiC／Si薄膜的发光性质 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |
| 第八章：Zno／SiC多层膜的结构和光致发光性质的研究 | 第64-68页 |
| ·ZnO／SiC多层膜的结构 | 第64-66页 |
| ·ZnO／SiC多层膜的发光性质 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第九章：Co掺杂SiC薄膜的结构和光致发光性质的研究 | 第68-73页 |
| ·Co-SiC薄膜的结构 | 第68-70页 |
| ·Co-SiC薄膜的的发光性质 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-73页 |
| 第十章：结语 | 第73-75页 |
| 硕士期间发表论文目录 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 中文详细摘要 | 第77-80页 |
