p型ZnO薄膜的制备及掺杂机理研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
目录	第9-12页
第一章 文献综述	第12-34页
·研究背景	第12-14页
·ZnO的基本性质及应用	第14-19页
·ZnO的晶体结构	第15页
·ZnO的光电性能	第15-17页
·ZnO的压电、压阻性能	第17-18页
·ZnO的压敏性能	第18-19页
·ZnO的气敏性能	第19页
·ZnO中的本征缺陷和n型掺杂	第19-26页
·ZnO中的本征缺陷	第19-23页
·ZnO中的n型掺杂	第23-26页
·p型ZnO研究进展	第26-33页
·本征p型ZnO	第26-27页
·Ⅰ族元素掺杂	第27-29页
·Ⅴ族元素掺杂	第29-32页
·N与Ⅲ族元素共掺	第32-33页
·本文研究目的及研究内容	第33-34页
第二章 ZnO薄膜的制备方法及表征	第34-39页
·直流反应溅射镀膜	第34-35页
·实验设备	第35-36页
·实验制备过程	第36-37页
·靶材的制备	第36页
·衬底的选择与清洗	第36-37页
·薄膜制备过程	第37页
·ZnO薄膜性能测试	第37-39页
第三章 p型ZnO掺杂元素的研究	第39-59页
·密度泛函理论简介	第39-41页
·理论计算模块及参数设置	第41-42页
·纯ZnO的电子结构	第42-45页
·V族元素掺杂ZnO的理论研究	第45-52页
·Ⅰ族元素掺杂ZnO的理论研究	第52-58页
·本章小结	第58-59页
第四章 N掺杂p型ZnO薄膜的制备与性能	第59-84页
·热氧化Zn_3N_2制备p型ZnO薄膜	第59-69页
·薄膜的制备	第59-61页
·热氧化法制备的ZnO薄膜晶体结构分析	第61-63页
·热氧化温度对薄膜结构性能的影响	第61页
·热氧化时间对薄膜结构性能的影响	第61-63页
·热氧化法制备的ZnO薄膜的光学性能	第63-65页
·热氧化温度对薄膜光学性能的影响	第63-64页
·热氧化时间对薄膜光学性能的影响	第64-65页
·热氧化法制备的ZnO薄膜的电学性能	第65-68页
·热氧化温度对薄膜电学性能的影响	第65-67页
·热氧化时间对薄膜电学性能的影响	第67-68页
·薄膜的厚度	第68-69页
·反应磁控溅射制备p型ZnO薄膜	第69-82页
·ZnO薄膜的制备	第70页
·薄膜成分分析	第70-72页
·薄膜的晶体结构	第72-75页
·N_2流量对薄膜结构性能的影响	第72-74页
·衬底温度对薄膜结构性能的影响	第74-75页
·薄膜的光学性能	第75-78页
·N_2流量对薄膜光学性能的影响	第75-77页
·衬底温度对薄膜光学性能的影响	第77-78页
·薄膜的电学性能	第78-81页
·N_2流量对薄膜电学性能的影响	第78-80页
·衬底温度对薄膜电学性能的影响	第80-81页
·ZnO薄膜的厚度	第81-82页
·N掺杂ZnO薄膜电学性能的稳定性	第82-83页
·本章小结	第83-84页
第五章 Na掺杂p型ZnO薄膜的制备与性能	第84-95页
·薄膜中元素成分分析	第84-86页
·Na掺杂ZnO薄膜的结构性能	第86-88页
·靶材中Na含量对薄膜结构性能的影响	第86-87页
·衬底温度对薄膜结构性能的影响	第87-88页
·Na掺杂ZnO薄膜的表面形貌	第88-90页
·靶材中Na含量对ZnO薄膜表面形貌的影响	第88-89页
·衬底温度对ZnO薄膜表面形貌的影响	第89-90页
·Na掺杂ZnO薄膜的电学性能	第90-93页
·靶材中Na含量对薄膜电学性能的影响	第90-92页
·不同衬底温度对薄膜电学性能的影响	第92-93页
·Na掺杂ZnO薄膜电学性能的稳定性	第93-94页
·本章小结	第94-95页
第六章 结论	第95-97页
参考文献	第97-112页
博士期间发表和正在评审的论文和专利	第112-114页
致谢	第114页