离子注入杂质在氧化物晶体中的行为研究
序言 | 第1-10页 |
第一章 氧化物晶体 | 第10-20页 |
一.氧化物晶体 | 第10-11页 |
1.氧化物 | 第10页 |
2.晶体 | 第10-11页 |
3.氧化物晶体 | 第11页 |
二.氧化铝 | 第11-12页 |
三.α-Al_2O_3 | 第12-14页 |
1.结构 | 第12-14页 |
2.物理性能 | 第14页 |
四.晶体缺陷 | 第14-16页 |
1.点缺陷或称零维缺陷 | 第14页 |
2.线缺陷或称一维缺陷 | 第14-15页 |
3.面缺陷或称二维缺陷 | 第15-16页 |
4.体缺陷或称三维缺陷 | 第16页 |
5.电子缺陷 | 第16页 |
五.点缺陷 | 第16-20页 |
1.热缺陷 | 第16-17页 |
2.杂质原子 | 第17-18页 |
3.辐照缺陷 | 第18-20页 |
第二章 离子注入α-Al_2O_3晶体试验 | 第20-32页 |
一.离子注入 | 第20-29页 |
1.特点 | 第20-21页 |
2.离子注入装置 | 第21-22页 |
3.离子注入射程 | 第22-25页 |
4.离子注入引起损伤(能量淀积) | 第25-29页 |
二.离子注入试样的退火 | 第29-30页 |
三.试验简介 | 第30-32页 |
第三章 试验结果与讨论 | 第32-50页 |
一.色心概念 | 第32-34页 |
二.吸收光潜 | 第34-45页 |
1.光吸收谱的测量 | 第35页 |
2.产生的色心 | 第35-38页 |
3.退火对色心的影响 | 第38-45页 |
三.表面SFM(扫描电镜)形貌观察 | 第45-48页 |
1.固溶与偏析 | 第45-46页 |
2.表面观察结果与讨论 | 第46-48页 |
四.结论 | 第48-50页 |
参考文献 | 第50-52页 |
附录 | 第52-53页 |
声明 | 第53-54页 |
致谢 | 第54页 |