| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 前言 | 第7-17页 |
| ·软X 射线及其性质 | 第8-10页 |
| ·软 X 射线光学多层膜的特性 | 第10-15页 |
| ·软 X 射线光学多层膜的制备 | 第15-16页 |
| ·本论文的工作 | 第16-17页 |
| 第二章 Mo/Al 软 X 射线光学多层膜的设计 | 第17-30页 |
| ·软 X 射线光学多层膜反射率的计算 | 第17-22页 |
| ·Mo/Al 软X 射线光学多层膜的设计 | 第22-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 Mo/Al 软X 射线光学多层膜的结构和稳定性 | 第30-46页 |
| ·Mo/Al 软X 射线光学多层膜的制备 | 第30-31页 |
| ·结构表征 | 第31-34页 |
| ·结果与讨论 | 第34-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第四章 Mo/SiO_2/Al/SiO_2 软X 射线光学多层膜的结构和稳定性 | 第46-63页 |
| ·Mo/SiO_2/Al/SiO_2 软X 射线光学多层膜的结构设计 | 第46-49页 |
| ·Mo/SiO_2/Al/SiO_2 软X 射线光学多层膜的制备 | 第49页 |
| ·结构表征 | 第49-50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-73页 |
| 附录 硕士期间完成的学术论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
