| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| 1． 1 引言 | 第7-10页 |
| 1． 2 DWDM集成光学器件的研究进展 | 第10-16页 |
| 1． 3 本论文的意义及工作 | 第16页 |
| 参考文献 | 第16-20页 |
| 第二章 阵列波导光栅器件理论基础及SOI波导研究 | 第20-37页 |
| 2． 1 阵列波导光栅的理论基础 | 第20-27页 |
| 2． 1． 1 衍射光栅的概念及其演变 | 第20-23页 |
| 2． 1． 2 基本公式及理论 | 第23-24页 |
| 2． 1． 3 性能指标 | 第24-26页 |
| 2． 1． 4 器件的改进方法 | 第26-27页 |
| 2． 2 SOI波导研究 | 第27-34页 |
| 2． 2． 1 SOI材料简介 | 第27-30页 |
| 2． 2． 2 SOI器件工艺研究 | 第30-34页 |
| 2． 3 总结 | 第34页 |
| 参考文献 | 第34-37页 |
| 第三章 全内反射型AWG的设计和优化分析 | 第37-64页 |
| 3． 1 Smit型AWG的设计 | 第37-51页 |
| 3． 1． 1 工作波长标准 | 第37-39页 |
| 3． 1． 2 波导结构及单模条件 | 第39-40页 |
| 3． 1． 3 用有效折射率法分析波导 | 第40-42页 |
| 3． 1． 4 色散分析 | 第42-44页 |
| 3． 1． 5 插入损耗分析 | 第44-47页 |
| 3． 1． 6 串扰分析 | 第47-48页 |
| 3． 1． 7 阵列波导几何参数的确定 | 第48-51页 |
| 3． 2 全内反射型AWG的设计 | 第51-58页 |
| 3． 2． 1 波导结构及器件几何参数 | 第51-52页 |
| 3． 2． 2 用BPM法分析光波在SOI波导中的传输 | 第52-55页 |
| 3． 2． 3 几何参数及偏振补偿原理 | 第55-57页 |
| 3． 2． 4 数值模拟 | 第57-58页 |
| 3． 3 全内反射镜分析 | 第58-59页 |
| 3． 4 楔形波导的优化分析 | 第59-62页 |
| 3． 5 输出波导的优化分析 | 第62页 |
| 3． 6 总结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |
| 第四章 器件工艺制作及测试 | 第64-73页 |
| 4． 1 全内反射型AWG的工艺制作 | 第64-70页 |
| 4． 1． 1 湿法腐蚀工艺 | 第64-66页 |
| 4． 1． 2 干法刻蚀工艺 | 第66-68页 |
| 4． 1． 3 制作器件的图片 | 第68-69页 |
| 4． 1． 4 光刻版的设计及相关图片 | 第69-70页 |
| 4． 1． 5 工艺制作中存在的问题及解决方法 | 第70页 |
| 4． 2 测试系统介绍 | 第70-71页 |
| 4． 3 测试结果 | 第71-72页 |
| 4． 4 总结 | 第72页 |
| 参考文献 | 第72-73页 |
| 第五章 总结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录：攻读硕士期间发表的论文，申请的专利及获奖情况 | 第76页 |