AZO透明导电薄膜制备、结构及性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 TCO薄膜概述 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·TCO薄膜的概述 | 第8-11页 |
| ·TCO薄膜的种类 | 第9-10页 |
| ·TCO薄膜的用途 | 第10-11页 |
| ·AZO薄膜的概述 | 第11-14页 |
| ·ZnO的晶体结构及特性 | 第11-12页 |
| ·AZO薄膜的制备方法 | 第12-14页 |
| ·AZO薄膜的研究进展 | 第14页 |
| ·选题依据及主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 AZO薄膜透明导电机理探究 | 第15-22页 |
| ·AZO薄膜的导电性 | 第15-18页 |
| ·半导体导电原理 | 第15-16页 |
| ·AZO薄膜的掺杂导电机理 | 第16-18页 |
| ·AZO薄膜的透光性 | 第18-21页 |
| ·光学常数 | 第18-20页 |
| ·光吸收边移动理论 | 第20-21页 |
| ·AZO薄膜的光学性能 | 第21页 |
| ·导电性与透光性的关系 | 第21-22页 |
| 第三章 AZO薄膜的制备及测试 | 第22-32页 |
| ·Sol-gel法制备AZO薄膜工艺原理 | 第22-23页 |
| ·Sol-gel法涂膜工艺 | 第23-24页 |
| ·旋涂法 | 第23页 |
| ·浸涂法 | 第23-24页 |
| ·Sol-gel法热处理工艺 | 第24-25页 |
| ·Sol-gel法薄膜生长过程 | 第25-26页 |
| ·Sol-gel法制备AZO薄膜的工艺流程 | 第26-29页 |
| ·实验原料 | 第26-27页 |
| ·实验设备与器材 | 第27页 |
| ·溶胶的配制 | 第27页 |
| ·基片的清洗 | 第27页 |
| ·薄膜的制备 | 第27-29页 |
| ·AZO薄膜结构及性能检测 | 第29-32页 |
| ·XRD分析 | 第29页 |
| ·SEM分析 | 第29页 |
| ·TEM分析 | 第29页 |
| ·TG-DSC分析 | 第29页 |
| ·UV-VIS测量 | 第29-30页 |
| ·方块电阻测量 | 第30-32页 |
| 第四章 AZO薄膜结构与性能分析 | 第32-40页 |
| ·AZO凝胶TG-DSC热分析 | 第32-34页 |
| ·AZO薄膜结构形貌分析 | 第34-37页 |
| ·XRD结构分析 | 第34页 |
| ·SEM形貌分析 | 第34-35页 |
| ·HRTEM微观结构分析 | 第35-37页 |
| ·AZO薄膜电学性能分析 | 第37页 |
| ·AZO薄膜光学性能分析 | 第37-40页 |
| 第五章 工艺参数对AZO薄膜性能影响 | 第40-46页 |
| ·热处理气氛对AZO薄膜性能的影响 | 第40-42页 |
| ·热处理气氛对AZO薄膜结构的影响 | 第40-41页 |
| ·热处理气氛对AZO薄膜导电性的影响 | 第41页 |
| ·热处理气氛对AZO薄膜透光性的影响 | 第41-42页 |
| ·Al掺杂量对AZO薄膜性能的影响 | 第42-43页 |
| ·溶胶浓度对AZO薄膜性能的影响 | 第43-44页 |
| ·涂膜层数对AZO薄膜性能的影响 | 第44-45页 |
| ·退火温度对AZO薄膜性能的影响 | 第45-46页 |
| 第六章 总结与展望 | 第46-48页 |
| ·全文结论 | 第46-47页 |
| ·下一步工作展望 | 第47-48页 |
| 硕士期间的科学研究工作 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
