| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-19页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·原子发射光谱仪常用激发源 | 第10-11页 |
| ·微型ICP激发源研究目的及意义 | 第11-12页 |
| ·微型ICP激发源研究现状、水平及发展趋势 | 第12-18页 |
| ·微型ICP激发源的研究现状 | 第12-17页 |
| ·微型ICP激发源的应用现状及发展趋势 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 立体螺旋线圈微型ICP激发源的工作机理 | 第19-30页 |
| ·微型ICP光谱激发源的特点 | 第19页 |
| ·立体螺旋线圈微型ICP激发源的工作原理 | 第19-24页 |
| ·等离子体启燃前的等效电路分析 | 第19-20页 |
| ·等离子体启燃后的等效电路分析 | 第20-21页 |
| ·等离子体启燃前后螺旋线圈谐振频率fr和Q值的变化情况 | 第21-24页 |
| ·螺旋线圈的场分析 | 第24-27页 |
| ·立体螺旋线圈的设计与计算 | 第27-28页 |
| ·射频驱动匹配网络 | 第28-30页 |
| 第3章 立体螺旋线圈微型ICP激发源的实验研究 | 第30-40页 |
| ·实验系统设计 | 第30-36页 |
| ·射频驱动及阻抗匹配网络 | 第31-32页 |
| ·立体螺旋线圈微型ICP激发源微电路组件 | 第32-34页 |
| ·真空放电室 | 第34-35页 |
| ·抽真空及真空测试系统 | 第35-36页 |
| ·气源系统 | 第36页 |
| ·实验方法 | 第36-39页 |
| ·全面试验法 | 第36-38页 |
| ·正交试验法 | 第38-39页 |
| ·实验数据的预处理 | 第39-40页 |
| 第4章 实验结果及分析 | 第40-70页 |
| ·全面试验法实验结果及分析 | 第40-66页 |
| ·工作气压与微型ICP激发源启燃/维持功率的关系 | 第40-51页 |
| ·线圈匝数与微型ICP激发源启燃/维持功率的关系 | 第51-59页 |
| ·线圈直径与微型ICP激发源启燃/维持功率的关系 | 第59-66页 |
| ·正交试验法实验结果及分析 | 第66-68页 |
| ·实验现象分析 | 第68-70页 |
| 第5章 结论与展望 | 第70-72页 |
| ·结论 | 第70页 |
| ·需要进一步研究的问题 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |