压电微悬臂梁探针的制备工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·扫描探针概述 | 第8-11页 |
| ·纳米技术与微悬臂梁探针 | 第8页 |
| ·扫描探针的工作原理 | 第8-10页 |
| ·扫描探针的应用 | 第10-11页 |
| ·扫描探针的研究现状 | 第11-15页 |
| ·常见的探针加工方法 | 第15-16页 |
| ·本课题的研究意义与内容 | 第16-18页 |
| 2 压电探针设计与制作的理论研究 | 第18-29页 |
| ·探针的制作工艺 | 第18-24页 |
| ·硅晶体结构模型 | 第18-20页 |
| ·湿法腐蚀理论模型 | 第20-24页 |
| ·微悬臂梁的制作工艺 | 第24-27页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第24-26页 |
| ·光刻工艺 | 第26页 |
| ·剥离工艺 | 第26-27页 |
| ·压电薄膜的制作工艺 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 压电探针的设计及制作工艺研究 | 第29-46页 |
| ·压电探针的制作工艺流程设计 | 第29-32页 |
| ·倒模具法制作压电探针 | 第29-30页 |
| ·湿法腐蚀制作压电探针 | 第30-32页 |
| ·压电探针的结构设计 | 第32-36页 |
| ·局部压电层的设计与仿真研究 | 第32-35页 |
| ·压电探针弹性常数的计算 | 第35-36页 |
| ·压电探针的制作工艺研究 | 第36-44页 |
| ·压电探针关键工艺研究 | 第36-41页 |
| ·压电探针制作工艺流程 | 第41-43页 |
| ·工艺中存在的问题及解决方法 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 4 压电探针的测试研究 | 第46-50页 |
| ·压电探针弹性常数的测试 | 第46-47页 |
| ·探针扫描结果对比 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
