| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-12页 |
| ·研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·本课题主要研究内容及设计工作 | 第10-11页 |
| ·本章小结 | 第11-12页 |
| 第2章 基于激光调制技术的光栅检测方法 | 第12-38页 |
| ·光栅 | 第12-18页 |
| ·光栅简介 | 第12-13页 |
| ·衍射光栅测量原理 | 第13-18页 |
| ·交流调制技术在光栅检测中的应用 | 第18-24页 |
| ·交流调制检测的原理及其优势 | 第18-20页 |
| ·高精度交流调制信号的产生 | 第20-24页 |
| ·光栅干涉条纹信号处理 | 第24-37页 |
| ·光栅干涉条纹的接收方法 | 第24-26页 |
| ·光电信号处理电路设计 | 第26-28页 |
| ·动态光栅信号的提取 | 第28-31页 |
| ·静态光栅信号的提取 | 第31-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 基于FPGA 的二维工作台测控系统开发 | 第38-58页 |
| ·FPGA 基础知识 | 第38-40页 |
| ·FPGA 简介、应用领域及发展趋势 | 第39页 |
| ·嵌入式软核Nios II | 第39-40页 |
| ·基于光栅检测的高精度运动工作台 | 第40-44页 |
| ·常用高精度运动工作台的计量及驱动方式 | 第40-43页 |
| ·本课题采用的计量方法和驱动方法 | 第43-44页 |
| ·系统总体设计方案 | 第44-45页 |
| ·光栅位移测量IP 核的开发 | 第45-48页 |
| ·驱动器控制IP 核的开发 | 第48-49页 |
| ·基于NIOS II 的二维工作台的SOPC 系统开发 | 第49-53页 |
| ·SOPC 系统的构建 | 第49-50页 |
| ·SOPC 系统的软件开发 | 第50-53页 |
| ·上位机应用软件开发 | 第53-54页 |
| ·SOPC 系统与上位机通信协议规范 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 实验分析与数据处理 | 第58-66页 |
| ·基于交流调制技术的光栅信号采集与分析 | 第58-61页 |
| ·绝对值检波信号的采样分析 | 第58-60页 |
| ·计数脉冲信号的采样分析 | 第60-61页 |
| ·基于FPGA 的二维精密运动工作台的定位精度分析 | 第61-65页 |
| ·驱动器的驱动精度分析 | 第61-62页 |
| ·光栅尺的检测精度分析 | 第62-64页 |
| ·工作台实际定位精度分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第72-73页 |
| 附录2 课题实物图照片 | 第73-75页 |
| 附录3 本课题部分电路原理图 | 第75-76页 |