| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 插图索引 | 第13-15页 |
| 附表索引 | 第15-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-45页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·TCO薄膜的透明导电机理 | 第16-25页 |
| ·TCO薄膜的透光性 | 第16-18页 |
| ·TCO薄膜的导电性 | 第18-24页 |
| ·导电性与透光性的关系 | 第24-25页 |
| ·TCO薄膜材料体系与应用开发 | 第25-30页 |
| ·n型TCO薄膜 | 第25-26页 |
| ·二元或多元复合TCO薄膜 | 第26-27页 |
| ·非晶TCO薄膜 | 第27-28页 |
| ·p型TCO薄膜 | 第28页 |
| ·透明薄膜晶体管 | 第28-29页 |
| ·太阳电池用TCO薄膜 | 第29-30页 |
| ·TCO薄膜的其它应用 | 第30页 |
| ·Al掺杂ZnO-TCO薄膜的研究进展 | 第30-37页 |
| ·ZnO的结构与特性 | 第30-31页 |
| ·ZnO或ZnO:Al薄膜制备的研究进展 | 第31-37页 |
| ·ZnO-TCO薄膜的掺杂策略 | 第37-41页 |
| ·影响掺杂的因素 | 第37-40页 |
| ·ITO的掺杂机制 | 第40-41页 |
| ·施主与受主共掺杂p型ZnO | 第41页 |
| ·Sol-gel法制备ZnO或ZnO:Al薄膜的化学反应原理 | 第41-42页 |
| ·ZnO或ZnO:Al薄膜的微观组织结构 | 第42-43页 |
| ·选题依据及主要研究内容 | 第43-45页 |
| 第2章 Sol-gel法制备ZnO基薄膜前驱体凝胶的热分解及晶化过程 | 第45-58页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·实验过程 | 第45-47页 |
| ·样品制备 | 第45-46页 |
| ·测试分析 | 第46-47页 |
| ·前驱体凝胶的热分解及晶化过程分析 | 第47-50页 |
| ·热处理制度的确定 | 第50-54页 |
| ·前期热处理温度的选择 | 第50-51页 |
| ·后期热处理温度对微观组织结构的影响 | 第51-54页 |
| ·热处理条件对ZnO:Al薄膜光电性能的影响 | 第54-57页 |
| ·透光性 | 第54-55页 |
| ·导电性 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第3章 Sol-gel法制备ZnO基薄膜的生长机理与工艺优化 | 第58-70页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·Sol-gel法制备ZnO或ZnO:Al薄膜的生长机理与结晶取向性 | 第58-65页 |
| ·气相沉积ZnO或ZnO:Al薄膜的成核与长大机理 | 第58-60页 |
| ·Sol-gel法制备ZnO或ZnO:Al薄膜的成核与长大机理 | 第60-65页 |
| ·Sol-gel法制备ZnO或ZnO:Al薄膜的工艺流程 | 第65-69页 |
| ·溶胶体系的配制 | 第65页 |
| ·浸涂法镀膜 | 第65-67页 |
| ·玻璃基片 | 第67页 |
| ·热处理制度 | 第67页 |
| ·工艺流程 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 Al掺杂对sol-gel法制备ZnO:Al薄膜微观组织结构及光电性能的影响 | 第70-83页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·实验方案与过程 | 第70-71页 |
| ·薄膜制备 | 第70-71页 |
| ·性能表征 | 第71页 |
| ·结果与讨论 | 第71-81页 |
| ·结晶性 | 第71-74页 |
| ·表面微观形貌 | 第74-77页 |
| ·ZnO:Al薄膜的光学性质 | 第77-81页 |
| ·ZnO:Al薄膜的导电性 | 第81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第5章 Sol-gel法制备Sc掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO-TCO薄膜的研究 | 第83-102页 |
| ·引言 | 第83-84页 |
| ·理论分析 | 第84-88页 |
| ·实验方案与过程 | 第88页 |
| ·结果与讨论 | 第88-100页 |
| ·结晶性 | 第88-91页 |
| ·表面微观形貌 | 第91-94页 |
| ·透光性与光学带隙 | 第94-96页 |
| ·霍尔效应 | 第96-97页 |
| ·掺杂机制的解释 | 第97-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第6章 电沉积法制备Ag/AZO复合TCO薄膜 | 第102-110页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·电沉积法制备透明致密银膜 | 第102-106页 |
| ·银镜反应 | 第102-105页 |
| ·改进的银镜反应——电沉积法制备透明致密银膜 | 第105-106页 |
| ·实验过程 | 第106-107页 |
| ·结果与讨论 | 第107-109页 |
| ·复合薄膜的结构表征 | 第107-108页 |
| ·复合薄膜的光电性能 | 第108-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 结论 | 第110-112页 |
| 本论文的主要创新点及进一步工作展望 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 附录A 攻读博士期间发表及拟发表的论文 | 第127页 |
