| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 前言 | 第6-22页 |
| ·等离子体浸没注入技术简介 | 第6-11页 |
| ·传统的束线注入技术 | 第6-7页 |
| ·等离子体浸没注入技术 | 第7-9页 |
| ·等离子体浸没注入的应用 | 第9页 |
| ·等离子体浸没离子注入的发展 | 第9-11页 |
| ·不锈钢简介 | 第11-22页 |
| ·不锈钢的类别 | 第11-13页 |
| ·奥氏体不锈钢 | 第13-14页 |
| ·不锈钢氮化的主要方法和用途 | 第14-16页 |
| ·N在不锈钢中的存在形式和作用 | 第16页 |
| ·不锈钢的常见腐蚀类型 | 第16-22页 |
| 第二章 等离子体浸没注入装置 | 第22-29页 |
| ·等离子体浸没离子注入总体系统 | 第22-24页 |
| ·真空系统 | 第24-25页 |
| ·等离子体源 | 第25-26页 |
| ·脉冲高压电源 | 第26-28页 |
| ·绝缘衬台和高压靶台 | 第28-29页 |
| 第三章 等离子体浸没注入的软件模拟 | 第29-36页 |
| ·SRIM软件模拟简介 | 第29-34页 |
| ·SRIM的主要程序 | 第29-30页 |
| ·SRIM软件的应用 | 第30-33页 |
| ·SRIM软件对若干种靶材注入N元素注入深度的模拟 | 第33-34页 |
| ·等离子体浸没注入的剂量控制 | 第34-36页 |
| 第四章 等离子体浸没注入对材料进行改性以及表征 | 第36-63页 |
| ·AISI 316不锈钢样品的改性研究 | 第36-48页 |
| ·不锈钢样品的制备 | 第36页 |
| ·不锈钢样品的注N处理 | 第36-37页 |
| ·不锈钢样品的表征 | 第37-48页 |
| ·总结 | 第48页 |
| ·AISI 304不锈钢的改性研究 | 第48-60页 |
| ·不锈钢样品的制备 | 第48页 |
| ·不锈钢样品的注N处理 | 第48-49页 |
| ·不锈钢样品的表征 | 第49-59页 |
| ·总结 | 第59-60页 |
| ·采用PIII对纳米多孔TiO_2薄膜掺N的研究 | 第60-63页 |
| ·金属Ti片的制备 | 第60页 |
| ·金属Ti片的注N处理 | 第60页 |
| ·金属Ti的氧化处理 | 第60-61页 |
| ·掺N的TiO_2薄膜的表征 | 第61-62页 |
| ·总结 | 第62-63页 |
| 第五章 主要结论与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |