| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究的背景 | 第9-10页 |
| ·研究的问题 | 第10-13页 |
| ·论文的结构 | 第13-14页 |
| 第2章 文献综述 | 第14-33页 |
| ·高斯过程模型简介 | 第14-20页 |
| ·高斯过程模型的结构和假设 | 第14-17页 |
| ·高斯过程模型的主要类型 | 第17-18页 |
| ·高斯过程模型的参数估计 | 第18-20页 |
| ·结合工程特性的统计建模研究与高斯过程模型的工程应用 | 第20-23页 |
| ·波动方程及其求解方法简介 | 第23-26页 |
| ·晶圆的多线切割工艺过程和研究进展 | 第26-33页 |
| ·晶圆的主要用途和切割工艺 | 第26-29页 |
| ·晶圆的多线切割工艺原理 | 第29页 |
| ·多线切割工艺过程的研究进展 | 第29-33页 |
| 第3章 晶圆多线切割过程的材料去除率和波动方程 | 第33-45页 |
| ·晶圆多线切割工艺的切割机理和材料去除率 | 第33-37页 |
| ·多线切割工艺过程的耦合波动方程与雷诺方程 | 第37-39页 |
| ·锯线的波动方程 | 第37-38页 |
| ·研磨液的雷诺方程 | 第38-39页 |
| ·多线切割的耦合偏微分方程组的求解 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 晶圆多线切割过程的PDE-GP 模型 | 第45-58页 |
| ·多线切割过程的误差因素与PDE-GP 模型 | 第45-48页 |
| ·耦合偏微分方程组中的波动方程的PDE-GP 模型 | 第48-55页 |
| ·傅利叶级数展开和PDE-GP 模型期望部分的推导 | 第48-51页 |
| ·波动方程的全局伽辽金离散化以及待定系数之间的关系 | 第51-55页 |
| ·PDE-GP 模型期望项的结构和意义 | 第55页 |
| ·PDE-GP 模型的最佳线性无偏估计 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 基于生产数据的PDE-GP 模型检验与过程优化 | 第58-81页 |
| ·多线切割实验的参数设定与数据测量 | 第58-61页 |
| ·材料去除率实验数据的计算 | 第61-63页 |
| ·PDE-GP 模型的预测效果的检验与比较 | 第63-71页 |
| ·PDE-GP 模型的预测效果的交叉检验 | 第63-67页 |
| ·PDE-GP 模型与通用克里金模型的预测效果对比 | 第67-69页 |
| ·PDE-GP模型与经典回归模型的预测效果对比 | 第69-71页 |
| ·多线切割工艺过程的优化方法与检验 | 第71-79页 |
| ·多线切割工艺过程的优化方法 | 第71-72页 |
| ·优化方法的检验 | 第72-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 第6章 一般波动方程的PDE-GP 模型 | 第81-92页 |
| ·非齐次波动方程的误差成因分析 | 第81-82页 |
| ·一般非齐次波动方程的PDE-GP 模型 | 第82-88页 |
| ·观测数据的分解和PDE-GP 模型的结构 | 第82-85页 |
| ·两端固定弦波动方程的PDE-GP 模型的基函数组 | 第85-86页 |
| ·一般波动方程的PDE-GP 模型的基函数组 | 第86-87页 |
| ·非齐次波动方程无解析解和有效数值解时的PDE-GP 模型 | 第87-88页 |
| ·基于两端固定弦振动实验数据的模型检验 | 第88-90页 |
| ·一般工程模型的PDE-GP 模型建模方法 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第7章 总结与研究展望 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-102页 |
| 致谢 | 第102-104页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第104页 |
