| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·硬质薄膜的分类 | 第15-16页 |
| ·本征硬质薄膜 | 第15-16页 |
| ·微结构强化硬质薄膜 | 第16页 |
| ·纳米多层膜 | 第16-22页 |
| ·纳米多层膜的基本概念 | 第16-17页 |
| ·纳米多层膜的分类 | 第17-20页 |
| ·纳米多层膜的致硬机理研究 | 第20-22页 |
| ·纳米复合膜 | 第22-23页 |
| ·纳米复合膜的基本概念及分类 | 第22页 |
| ·纳米复合膜的研究进展 | 第22-23页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理研究 | 第23页 |
| ·摩擦磨损的基础理论研究 | 第23-25页 |
| ·摩擦 | 第23-24页 |
| ·磨损 | 第24-25页 |
| ·选题意义和研究内容 | 第25-26页 |
| ·选题意义 | 第25页 |
| ·研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第26-32页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·薄膜制备原理和实验设备 | 第26-29页 |
| ·磁控溅射原理 | 第26-28页 |
| ·实验设备 | 第28-29页 |
| ·薄膜的检测方法及检测设备 | 第29-32页 |
| ·X 射线衍射仪(XRD) | 第29页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第29-30页 |
| ·能量色散谱仪(EDS) | 第30页 |
| ·显微硬度测试仪 | 第30-31页 |
| ·UMT-2 型摩擦磨损试验机 | 第31-32页 |
| 第3章 NbN 单层膜的制备与性能研究 | 第32-39页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·实验方法 | 第32-33页 |
| ·实验结果及讨论 | 第33-37页 |
| ·N_2 流量对NbN 薄膜的微结构和力学性能的影响 | 第33-35页 |
| ·溅射功率对NbN 薄膜的微结构和力学性能的影响 | 第35-37页 |
| ·NbN 单层膜工艺参数选取 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 NbN/AlN 纳米多层膜的制备、微结构及力学性能研究 | 第39-50页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·实验过程 | 第39-42页 |
| ·NbN/AlN 纳米多层膜的制备 | 第39-40页 |
| ·NbN 和AlN 沉积速率的确定 | 第40-41页 |
| ·调制比与调制周期的控制 | 第41-42页 |
| ·NbN/AlN 纳米多层膜的表征 | 第42页 |
| ·实验结果及讨论 | 第42-49页 |
| ·调制比对NbN/AlN 多层膜结构和性能的影响 | 第42-45页 |
| ·调制周期对NbN/AlN 多层膜结构和性能的影响 | 第45-47页 |
| ·NbN/AlN 多层膜致硬机理的讨论 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 Al-C-N 纳米复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能研究 | 第50-59页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验过程 | 第50-51页 |
| ·Al-C-N 复合膜的制备 | 第50-51页 |
| ·Al-C-N 复合膜的表征 | 第51页 |
| ·实验结果及讨论 | 第51-58页 |
| ·Al-C-N 复合膜的微结构分析 | 第51-54页 |
| ·C 靶功率对Al-C-N 复合膜力学性能的影响 | 第54-55页 |
| ·C 靶功率对Al-C-N 复合膜的摩擦性能的影响 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 Ti-Al-C-N 纳米复合膜的微结构及力学性能研究 | 第59-64页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·实验过程 | 第59-60页 |
| ·Ti-Al-C-N 复合膜的表征 | 第60页 |
| ·实验结果及讨论 | 第60-63页 |
| ·C 靶功率对Ti-Al-C-N 复合膜微结构的影响 | 第60-62页 |
| ·C 靶功率对Ti-Al-C-N 复合膜的力学性能的影响 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 详细摘要 | 第75-80页 |
