| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-26页 |
| ·透明导电膜 | 第9-10页 |
| ·透明导电薄膜代表性材料 | 第10-15页 |
| ·In_2O_3透明导电薄膜 | 第10-12页 |
| ·ZnO透明导电薄膜 | 第12-13页 |
| ·SnO_2透明导电薄膜 | 第13-15页 |
| ·透明导电膜的制备方法 | 第15-21页 |
| ·真空蒸发镀膜法 | 第15页 |
| ·磁控溅射法 | 第15-17页 |
| ·脉冲激光法 | 第17-18页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第18-20页 |
| ·喷雾热分解法 | 第20-21页 |
| ·喷雾热分解发生的过程 | 第20-21页 |
| ·喷雾热解法的特点 | 第21页 |
| ·选题角度的确定 | 第21-25页 |
| ·论文的意义及主要内容 | 第25-26页 |
| 第2章 实验部分 | 第26-33页 |
| ·实验装置和试剂 | 第26页 |
| ·实验装置 | 第26页 |
| ·实验试剂 | 第26页 |
| ·玻璃清洗 | 第26-27页 |
| ·样品制备 | 第27-30页 |
| ·TiO_2-SiO_2复合薄膜的制备 | 第27-29页 |
| ·FTO薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·分析测试方法 | 第30-33页 |
| ·薄膜紫外-可见光透过率测定 | 第30页 |
| ·薄膜光学常数的确定 | 第30-31页 |
| ·薄膜结构测定 | 第31页 |
| ·薄膜方块电阻的测定 | 第31-33页 |
| 第3章 TiO_2-SiO_2复合薄膜的表征 | 第33-37页 |
| ·TiO_2含量与复合层折射率、膜层透过率的关系 | 第33-34页 |
| ·乙醇含量对TiO_2-SiO_2复合薄膜的厚度、折射率以及表面形貌的影响 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 FTO薄膜的结构及性能表征 | 第37-48页 |
| ·FTO薄膜的厚度估算 | 第37-38页 |
| ·掺杂浓度对FTO薄膜性能的影响 | 第38-42页 |
| ·FTO薄膜的方块电阻 | 第38-39页 |
| ·FTO薄膜的紫外-可见光透过率分析 | 第39-40页 |
| ·FTO薄膜的光学带隙 | 第40-42页 |
| ·薄膜方块电阻、结构与膜厚的关系 | 第42-43页 |
| ·基片温度对FTO薄膜性能的影响 | 第43-46页 |
| ·基片温度对FTO薄膜表面电阻的影响 | 第43-45页 |
| ·基片温度对FTO薄膜透过率的影响 | 第45页 |
| ·FTO薄膜的表面形貌 | 第45-46页 |
| ·不同前驱体溶液对薄膜性能的影响 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 TiO_2-SiO_2复合层对FTO薄膜性能的影响 | 第48-53页 |
| ·TiO_2-SiO_2复合薄膜消减FTO薄膜干涉色的光学理论 | 第48-49页 |
| ·中间层对FTO薄膜性能的影响 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第6章 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 硕士期间所发表论文 | 第60页 |
