| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-12页 |
| ·国内外相关研究现状 | 第12-15页 |
| ·激光加工相关研究现状 | 第12-14页 |
| ·CAD/CAM软件开发相关现状 | 第14-15页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 157nm激光微加工技术研究 | 第17-28页 |
| ·准分子激光加工原理 | 第17-20页 |
| ·157nm激光微加工系统 | 第20-21页 |
| ·157nm激光微加工实验 | 第21-27页 |
| ·能量密度对激光加工的影响 | 第22-23页 |
| ·脉冲频率及扫描速度对激光加工的影响 | 第23-25页 |
| ·脉冲数对激光加工的影响 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 激光刻蚀质量的神经网络模型 | 第28-42页 |
| ·实验数据采集 | 第28-30页 |
| ·基于157nm激光微加工的BP神经网络建模 | 第30-35页 |
| ·神经网络的基本理论 | 第30页 |
| ·BP网络建立及其学习 | 第30-34页 |
| ·BP网络的训练及其仿真 | 第34-35页 |
| ·遗传算法(GA)技术研究 | 第35-40页 |
| ·遗传算法的基本思想 | 第35-36页 |
| ·遗传算法的实现 | 第36-40页 |
| ·神经网络在157nm激光微加工过程中的应用实例 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 激光加工的数控系统及程序编制 | 第42-51页 |
| ·数控加工系统 | 第42-43页 |
| ·数控代码编制及处理过程 | 第43-47页 |
| ·数控加工程序分析及加工实例 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 自动化编程系统的设计 | 第51-75页 |
| ·自动化编程系统的开发环境选择 | 第51-54页 |
| ·自动化编程软件157nm-AutoProm System总体设计方案 | 第54-56页 |
| ·功能模块设计 | 第56-72页 |
| ·图形自建CAD模块 | 第56-60页 |
| ·基于AutoCAD图形文件的读取模块 | 第60-63页 |
| ·图形图像的读取模块 | 第63-66页 |
| ·工艺参数优化模块 | 第66-72页 |
| ·自动化编程软件应用与157nm激光微加工过程实例 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 发表论文及参加科研情况说明 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |